[發明專利]再生蝕刻機或PECVD設備的襯里的方法有效
| 申請號： | 202210031877.1 | 申請日： | 2022-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN114405918B | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發明（設計）人： | 劉曉剛;黃來國;劉超;李仁杰;蔡廣云;方斌 | 申請（專利權）人： | 合肥微睿光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B24B23/02;B24B55/02;C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32 |
| 代理公司： | 安徽知問律師事務所 34134 | 代理人： | 王亞軍 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 再生 蝕刻 pecvd 設備 襯里 方法 | ||
【權利要求書】：
1.再生蝕刻機或PECVD設備的襯里的方法，該方法包括以下連續步驟：
（a）用軟質擦拭物對所述襯里的表面進行濕式研磨；軟質擦拭物為目數不小于1000#的羊絨布或海綿砂；濕式研磨采用手持式高速氣動研磨機進行，其空載轉速為8000-13000轉/分鐘和/或工作壓力為7-8kg；濕式研磨使用去離子水或超純水進行；
（b）在40-60℃下，用中性脫脂劑清洗所述襯里的表面，清洗進行3-5分鐘；
（c）在40-60℃下，用濃度為0.05重量%-5重量%的檸檬酸溶液清洗所述襯里的表面，清洗進行20-40分鐘；和
（d）干燥所述襯里的表面，在40-60℃下進行5-15分鐘。
2.根據權利要求1所述的方法，其中所述手持式高速氣動研磨機的空載轉速為12000轉/分鐘和/或工作壓力為7.5kg。
3.根據權利要求1所述的方法，其中所述步驟（a）進行3-8分鐘。
4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中所述步驟（b）在50-55℃下進行。
5.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中所述步驟（c）在50-55℃下進行。
6.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中所述步驟（c）用濃度為0.1重量%-3重量%的檸檬酸溶液進行。
7.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中所述步驟（c）用濃度為1.5重量%-2.5重量%的檸檬酸溶液進行。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于合肥微睿光電科技有限公司，未經合肥微睿光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210031877.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
