[發明專利]晶圓鍵合壓合裝置

在審

• 申請號: 202210026735.6
• 申請日: 2022-01-11
• 公開（公告）號: CN116469794A
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 白龍;李帥龍;王偉
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/18
• 代理公司: 北京頭頭知識產權代理有限公司 11729
• 代理人: 白芳仿;王方明

1.一種晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，包括壓頭(6)、壓力傳感器(5)、壓力傳感器連接桿(4)、壓合桿連接桿(20)、壓合桿(2)及位移裝置，所述壓頭(6)連接于所述壓力傳感器(5)下方，所述壓力傳感器(5)連接于所述壓力傳感器連接桿(4)的一端，所述壓力傳感器連接桿(4)的另一端連接于所述壓合桿連接桿(20)上，所述壓力傳感器連接桿(4)適于相對所述壓合桿連接桿(20)在水平面內轉動及前后移動、所述壓力傳感器連接桿(4)適于相對所述壓合桿連接桿(20)在垂直方向上上下移動，所述壓合桿連接桿(20)與所述壓合桿(2)相連接，所述壓合桿連接桿(20)垂直設置，所述壓合桿(2)水平設置，所述壓合桿(2)與所述位移裝置相連接，所述位移裝置適于通過所述壓合桿(2)帶動所述壓合桿連接桿(20)上下移動。

2.根據權利要求1所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，還包括夾緊塊(3)，所述夾緊塊(3)一端為第一夾持端、另一端為第二夾持端，所述第一夾持端包括上夾板及下夾板，所述上夾板、所述下夾板相對設置，所述上夾板的相對所述下夾板的側面上設置有上凹槽，所述下夾板的相對所述上夾板的側面上設置有下凹槽，所述上凹槽、所述下凹槽相互連通形成用于容納所述壓力傳感器連接桿(4)的第一容置槽，所述壓力傳感器連接桿(4)的與所述壓合桿連接桿(20)相連接的一端置于所述第一容置槽內，所述上夾板、所述下夾板之間通過第一可拆卸連接件相互連接夾緊，所述第二夾持端包括前夾板及后夾板，所述前夾板、所述后夾板相對設置，所述前夾板的相對所述后夾板的側面上設置有前凹槽，所述后夾板的相對所述前夾板的側面上設置有后凹槽，所述前凹槽、所述后凹槽相互連通形成用于容納所述壓合桿連接桿(20)的第二容置槽，所述壓合桿連接桿(20)的遠離所述壓合桿(2)的一端置于所述第二容置槽內，所述前夾板、所述后夾板之間通過第二可拆卸連接件相互連接夾緊。

3.根據權利要求2所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，所述位移裝置為精動位移臺(7)，所述精動位移臺(7)的輸出軸(71)與所述壓合桿(2)的一端相連接，所述輸出軸(71)上下移動帶動所述壓合桿(2)上下移動。

4.根據權利要求3所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，還包括微動臺前安裝板(9)，所述微動臺前安裝板(9)與所述輸出軸(71)相連接，所述壓合桿(2)的遠離所述壓合桿連接桿(20)的一端設置有連接盤(21)，所述連接盤(21)與所述微動臺前安裝板(9)相連接。

5.根據權利要求4所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，還包括波紋管后安裝板(12)，所述波紋管后安裝板(12)一端與所述連接盤(21)相連接，所述波紋管后安裝板(12)另一端可轉動，所述微動臺前安裝板(9)位于所述波紋管后安裝板(12)的與所述連接盤(21)相連接的一端的下方，所述微動臺前安裝板(9)頂部與所述波紋管后安裝板(12)相連接。

6.根據權利要求5所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，還包括至少一組接觸塊(14)及軸承(15)，所述接觸塊(14)與所述軸承(15)一一對應，所述接觸塊(14)包括一對安裝板，所述一對安裝板相互平行間隔設置，所述接觸塊(14)設置于所述波紋管后安裝板(12)與所述微動臺前安裝板(9)之間，所述接觸塊(14)頂部與所述波紋管后安裝板(12)相連接，所述軸承(15)設置于所述一對安裝板之間，所述軸承(15)適于相對所述一對安裝板轉動，所述軸承(15)底部與所述微動臺前安裝板(9)相連接。

7.根據權利要求6所述的晶圓鍵合壓合裝置，其特征在于，還包括第一彈簧片(16)、第二彈簧片及彈簧片內連接板(13)，所述第一彈簧片(16)、所述第二彈簧片分別連接于所述微動臺前安裝板(9)沿長度方向的兩端，所述第一彈簧片(16)、所述第二彈簧片均與所述微動臺前安裝板(9)相垂直，所述第一彈簧片(16)、所述第二彈簧片分別位于所述壓合桿(2)的前后兩側，所述彈簧片內連接板(13)連接于所述第一彈簧片(16)與所述第二彈簧片之間，所述軸承(15)底部與所述彈簧片內連接板(13)相連接。