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[發明專利]一種打磨設備在審

專利信息
申請號: 202210024912.7 申請日: 2022-01-07
公開(公告)號: CN114434258A 公開(公告)日: 2022-05-06
發明(設計)人: 鄭濤;鄒學笑;張輝 申請(專利權)人: 浙江泓芯半導體有限公司
主分類號: B24B19/00 分類號: B24B19/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/22
代理公司: 北京盛凡佳華專利代理事務所(普通合伙) 11947 代理人: 陳文麗
地址: 324000 浙江省衢州市*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 打磨 設備
【權利要求書】:

1.一種打磨設備,其特征在于:包括機架,所述機架上設有第一夾緊裝置、第二夾緊裝置和第三夾緊裝置,所述第一夾緊裝置、第二夾緊裝置、第三夾緊裝置兩兩成120度布置,所述第一夾緊裝置、第二夾緊裝置、第三夾緊裝置的上方設有打磨裝置,所述打磨裝置與所述機架連接。

2.根據權利要求1所述的一種打磨設備,其特征在于:所述第一夾緊裝置包括第一支撐座和第一支撐件,所述第一支撐座設置在所述機架上,所述第一支撐件與所述第一支撐座滑動連接,所述第二夾緊裝置包括第二支撐座和第二支撐件,所述第二支撐座設置在所述機架上,所述第二支撐件與所述第二支撐座滑動連接,所述第三夾緊裝置包括第三支撐座和第三支撐件,所述第三支撐座設置在所述機架上,所述第三支撐件與所述第三支撐座滑動連接。

3.根據權利要求2所述的一種打磨設備,其特征在于:所述第一支撐件包括第一支撐板和與第一支撐板連接的第一滑塊,所述第一滑塊與第一驅動裝置連接,所述第二支撐件包括第二支撐板和與第二支撐板連接的第二滑塊,所述第二滑塊與第二驅動裝置連接,所述第三支撐件包括第三支撐板和與第三支撐板連接的第三滑塊,所述第三滑塊與第三驅動裝置連接。

4.根據權利要求3所述的一種打磨設備,其特征在于:所述第一滑塊上設有第一定位塊,所述第一支撐座上設有與所述第一定位塊配合的第一定位導軌,所述第二滑塊上設有第二定位塊,所述第二支撐座上設有與所述第二定位塊配合的第二定位導軌,所述第三滑塊上設有第三定位塊,所述第三支撐座上設有與所述第三定位塊配合的第三定位導軌。

5.根據權利要求4所述的一種打磨設備,其特征在于:所述第一支撐板、第二支撐板、第三支撐板均為L形板。

6.根據權利要求1所述的一種打磨設備,其特征在于:所述打磨裝置包括打磨片。

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