[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓溢流超聲清洗裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210021047.0
• 申請日: 2022-01-10
• 公開（公告）號: CN114289405A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱嚴(yán)剛;張俊超;吳甘泉
• 申請（專利權(quán)）人: 南通康芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/04;B08B9/087;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京匯信合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11335
• 代理人: 章威威

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種半導(dǎo)體晶圓溢流超聲清洗裝置，包括清洗箱、超聲器和底板，清洗箱的一側(cè)貫穿有進(jìn)水孔，清洗箱的一端貫穿有排水孔，清洗箱頂端的一側(cè)設(shè)置有溢流排水口，清洗箱的內(nèi)壁上涂覆有防腐層，清洗箱內(nèi)部的底端安裝有超聲器，超聲器的頂端安裝有振子，清洗箱的內(nèi)壁上設(shè)置有安裝結(jié)構(gòu)，清洗箱的內(nèi)部安裝有底板，底板的內(nèi)部貫穿有通孔二，底板的上方設(shè)置清潔結(jié)構(gòu)，清洗箱內(nèi)部一端的一側(cè)設(shè)置有通孔一。本發(fā)明通過設(shè)置有振子和超聲器，在振子和超聲器震動(dòng)去除晶片表面雜質(zhì)，相較只用純水流動(dòng)帶出效果更好，所需時(shí)間更短，節(jié)約了用水量且縮短了生產(chǎn)周期提高產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體晶圓溢流超聲清洗裝置。

背景技術(shù)

晶圓清洗工藝在半導(dǎo)體制造過程中及其重要，幾乎每道工藝流程都會(huì)用到清洗，作用不同清洗的溶劑會(huì)有差異。

半導(dǎo)體晶圓清洗主要是脫除附著在晶圓表面的雜質(zhì)離子，如：有機(jī)物、無機(jī)金屬離子及顆粒物等，常規(guī)使用濕法清洗，其原理是使用化學(xué)酸、堿試劑與晶圓表面雜質(zhì)離子發(fā)生絡(luò)合反應(yīng)或生成溶于水的物質(zhì)，用高純水流動(dòng)帶出，以達(dá)到去除晶圓表面雜質(zhì)的目的；

隨著工藝的進(jìn)步，對晶圓電性的要求越來越嚴(yán)格，則相應(yīng)的對晶圓清洗的潔凈度的要求越來越高，之前水阻高于12MΩ/CM即可滿足要求，現(xiàn)在宜要滿足出水16MΩ/CM，現(xiàn)有工藝為了達(dá)到此要求純靠高純水流水沖到此阻值，往往需要很大的水流量及超過40分鐘的工時(shí)，有時(shí)可能還不能滿足要求需延長時(shí)間或者返清洗，這樣不僅會(huì)浪費(fèi)大量的純水，且生產(chǎn)周期較長，浪費(fèi)較為嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體晶圓溢流超聲清洗裝置，用以解決現(xiàn)有的清洗裝置清洗效果不佳，且浪費(fèi)嚴(yán)重的缺陷。

（二）發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體晶圓溢流超聲清洗裝置，包括清洗箱、超聲器和底板，所述清洗箱的一側(cè)貫穿有進(jìn)水孔，所述清洗箱的一端貫穿有排水孔，所述清洗箱頂端的一側(cè)設(shè)置有溢流排水口，所述清洗箱的內(nèi)壁上涂覆有防腐層，所述清洗箱內(nèi)部的底端安裝有超聲器。

所述超聲器的頂端安裝有振子，所述清洗箱的內(nèi)壁上設(shè)置有安裝結(jié)構(gòu)，所述清洗箱的內(nèi)部安裝有底板。

所述底板的內(nèi)部貫穿有通孔二，所述底板的上方設(shè)置清潔結(jié)構(gòu)，所述清洗箱內(nèi)部一端的一側(cè)設(shè)置有通孔一。

優(yōu)選的，所述清洗箱的內(nèi)部設(shè)置有兩個(gè)隔板，所述清洗箱內(nèi)部通過隔板分為三部分。

優(yōu)選的，所述清潔結(jié)構(gòu)包括清潔框、清潔刷一以及清潔刷二，所述清潔框設(shè)置于清洗箱的內(nèi)部，所述清潔框的兩側(cè)固定有清潔刷一，所述清潔框的兩端固定有清潔刷二。將清潔框放置清洗箱內(nèi)部，通過清潔刷一和清潔刷二可對清洗箱內(nèi)壁進(jìn)行清潔，提高清潔的便捷性。

優(yōu)選的，所述清潔刷一和清潔刷二均與清洗箱的內(nèi)壁緊密貼合，所述清潔框俯視為矩形空腔設(shè)置。通過空腔設(shè)置能夠避免影響該清洗裝置正常使用時(shí)，通過清潔刷一和清潔刷二與清洗箱的內(nèi)壁貼合，能夠提高對清洗箱內(nèi)壁的清洗效果。

優(yōu)選的，所述安裝結(jié)構(gòu)包括定位板、彈簧、卡扣、卡槽以及插桿，所述定位板固定與清洗箱內(nèi)壁的底部，所述定位板的內(nèi)部貫穿有插桿，且插桿頂端與底板的底端固定連接，所述定位板內(nèi)部的兩側(cè)設(shè)置有彈簧，且彈簧的一側(cè)安裝有卡扣，所述插桿的兩側(cè)嵌設(shè)有卡槽。后期在底板安裝后，通過卡扣與卡槽的配合下，能夠?qū)⒌装宸€(wěn)固安裝在清洗箱的內(nèi)部，提高底板后期的使用性。

優(yōu)選的，所述定位板的中間位置處縱向貫穿有與插桿相適配的卡接孔，所述定位板在清洗箱的內(nèi)部設(shè)置有若干個(gè)。底板通過插桿與定位板相互卡接，能夠使底板在清洗箱內(nèi)部安裝后的水平度，避免因出現(xiàn)偏移，影響使用。