[發明專利]被加工物的磨削方法在審
| 申請號： | 202210016768.2 | 申請日： | 2022-01-07 |
| 公開（公告）號： | CN114789371A | 公開（公告）日： | 2022-07-26 |
| 發明（設計）人： | 宮本弘樹 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/22;B24B51/00;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;楊俊波 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 磨削 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種被加工物的磨削方法，使用磨削裝置對被加工物進行磨削，其特征在于，
該磨削裝置具有：
卡盤工作臺，其具有對該被加工物進行保持的保持面，沿著與該保持面垂直的方向設定有旋轉軸；以及
磨削單元，其安裝有包含磨削磨具的磨削磨輪，利用該磨削磨具對該被加工物進行磨削，
該被加工物的磨削方法包含如下的步驟：
第1準備步驟，按照將該磨削磨具定位于該卡盤工作臺所保持的該被加工物的外側并且將該磨削磨具的下表面定位于距離該卡盤工作臺所保持的該被加工物的上表面為規定的距離的下方的方式調節該卡盤工作臺與該磨削單元的位置關系；
第1磨削步驟，在實施了該第1準備步驟之后，一邊使該磨削磨輪旋轉一邊使該卡盤工作臺和該磨削單元沿著與該保持面平行的方向相對地移動，利用該磨削磨具對該被加工物從一端側至另一端側進行磨削；
第2準備步驟，在實施了該第1磨削步驟之后，按照該卡盤工作臺的旋轉軸與該磨削磨具的軌跡重疊的方式調節該卡盤工作臺與該磨削單元的位置關系；以及
第2磨削步驟，在實施了該第2準備步驟之后，一邊使該卡盤工作臺和該磨削磨輪旋轉一邊使該卡盤工作臺和該磨削單元沿著與該保持面垂直的方向相對地移動，利用該磨削磨具對該被加工物進行磨削。
2.根據權利要求1所述的被加工物的磨削方法，其特征在于，
將該第1準備步驟、該第1磨削步驟、該第2準備步驟以及該第2磨削步驟分別實施兩次以上。
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