[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體元件組裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210012101.5 | 申請日: | 2022-01-06 |
| 公開(公告)號: | CN114496848A | 公開(公告)日: | 2022-05-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張曉英;魏亞格 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江鼎炬電子科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 杭州程隆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33385 | 代理人: | 曹康華 |
| 地址: | 310053 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 元件 組裝 方法 | ||
1.一種半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:包括以下步驟:
步驟一:將不同規(guī)格的一類半導(dǎo)體元件通過振動上料裝置進(jìn)行上料;振動上料裝置由若干個(gè)相鄰設(shè)置的振動上料機(jī)組成,單個(gè)的振動上料機(jī)配置為對同一規(guī)格的半導(dǎo)體元件進(jìn)行振動上料以使半導(dǎo)體元件均勻分布;
步驟二:將不同規(guī)格的另一類半導(dǎo)體元件通過料盤自動化輸送裝置進(jìn)行上料;料盤自動化輸送裝置由若干個(gè)相鄰設(shè)置的用于輸送料盤的上下料輸送單元組成;單個(gè)的上下料輸送單元上的料盤配置為裝載同一規(guī)格的半導(dǎo)體元件;單個(gè)的上下料輸送單元包括一上料工位及取料工位;料盤由上料工位輸送至取料工位進(jìn)行取料;
步驟三:依次對振動上料機(jī)上的半導(dǎo)體元件及取料工位料盤上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行取料;
步驟四:將取料完成的半導(dǎo)體元件依次放置在裝料工位上進(jìn)行組裝;該裝料工位上設(shè)有空載的組裝托盤,組裝托盤上均勻分布有若干個(gè)組裝槽口;將兩類半導(dǎo)體元件按照預(yù)定的裝配順序及位置依次層疊放置在單個(gè)的組裝槽口內(nèi)進(jìn)行組裝;
步驟五:裝料工位處的組裝托盤上的組裝槽口滿載時(shí),將該組裝托盤取走并再次送入空載的組裝托盤;
步驟六:重復(fù)上述步驟一至步驟五,并保證漏斗盤上始終具有半導(dǎo)體元件;保證上料工位處始終具有料盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:在步驟一中,每個(gè)振動上料機(jī)具有一個(gè)漏斗盤及一個(gè)柔振盤;半導(dǎo)體元件放置在漏斗盤內(nèi)進(jìn)行預(yù)上料,漏斗盤振動以將半導(dǎo)體元件振落在柔振盤上,柔振盤振動以使半導(dǎo)體元件均勻分布;所述組裝方法還包括以下步驟:在對半導(dǎo)體元件取料前,通過定位裝置對柔振盤以及取料工位上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行定位識別;所述定位裝置包括位于柔振盤上方的可升降移動調(diào)節(jié)的第一拍照定位組件以及位于取料工位上方的可升降移動調(diào)節(jié)的第二拍照定位組件;第一拍照定位組件配置為對柔振盤上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行拍照定位,第二拍照定位組件配置為對取料工位上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行拍照定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:所述單個(gè)的上下料輸送單元還包括回收工位;上料過程中,將料盤堆疊放置在上料工位處,單個(gè)的料盤能夠被依次輸送至取料工位進(jìn)行取料;取料完成后,取料工位處的料盤將被輸送至回收工位處且能夠進(jìn)行自動堆疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:所述單個(gè)的上下料輸送單元包括上料回收組件以及升降傳遞組件;上料回收組件包括位于上層的上料工位和送料軌道,以及位于下層的回收工位和下料軌道;升降傳遞組件包括一工作臺及控制該工作臺升降的驅(qū)動組件;所述取料工位設(shè)置在該工作臺上,工作臺上還設(shè)有能夠接收或送離料盤的傳遞軌道,傳遞軌道的傳輸方向能夠進(jìn)行切換;且取料工位處設(shè)有能夠?qū)⒘媳P向上頂離傳遞軌道的頂升板;工作臺預(yù)先升降設(shè)定并使傳遞軌道與送料軌道高度及輸送方向一致,上料工位處的料盤依次下料至送料軌道并輸送至傳遞軌道,頂升板將料盤頂升停留在取料工位進(jìn)行取料;取料完成后,工作臺下降使傳遞軌道與下料軌道高度一致,傳遞軌道的輸送方向反向調(diào)節(jié)以將料盤傳送至下料軌道;料盤被輸送至回收工位處并進(jìn)行堆疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:所述的漏斗盤與柔振盤前后相鄰;漏斗盤位于柔振盤的上方,且漏斗盤的前端設(shè)有開口,漏斗盤的開口處正對柔振盤;漏斗盤振動以將半導(dǎo)體元件經(jīng)開口處落入柔振盤內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:單個(gè)的振動上料機(jī)包括相鄰的第一振動組件及第二振動組件;第一振動組件包括第一振動器,所述的漏斗盤設(shè)置在第一振動器上端;第二振動組件包括第二振動器,所述的柔振盤設(shè)置在該第二振動器上端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體元件組裝方法,其特征在于:所述第一振動器為一振動馬達(dá),所述第二振動器包括四個(gè)分布在柔振盤四周的線性振動馬達(dá)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





