[發明專利]工業用機器人的手和工業用機器人在審
| 申請號: | 202180067513.2 | 申請日: | 2021-09-15 |
| 公開(公告)號: | CN116250071A | 公開(公告)日: | 2023-06-09 |
| 發明(設計)人: | 改野重幸 | 申請(專利權)人: | 日本電產三協株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 賀財俊;臧建明 |
| 地址: | 日本長野縣諏訪郡下諏訪町5*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工業 機器人 | ||
1.一種工業用機器人的手,其構成為能夠更換第一裝載部和第二裝載部,所述第一裝載部裝載搬運對象物,且具有包括供該搬運對象物的端面抵接的抵接面的端面抵接部件,所述第二裝載部裝載搬運對象物,且具有抽吸并保持該搬運對象物的抽吸孔,其中,
所述工業用機器人的手具備支承部,所述支承部構成為能夠支承所述第一裝載部和所述第二裝載部中的任意一方,
所述支承部具有:空氣流路,所述空氣流路在支承所述第二裝載部的狀態下與所述抽吸孔相連;
第一單元和第二單元中的僅一方,所述第一單元包括將容納在所述工業用機器人中的空氣配管的前端與所述空氣流路連結的連結部件,所述第二單元在支承所述第一裝載部的狀態下能夠按壓裝載在所述第一裝載部上的搬運對象物的端面;以及
安裝部,所述安裝部用于安裝所述第一單元和所述第二單元中的另一方。
2.根據權利要求1所述的工業用機器人的手,其中,
所述第二單元具有氣缸,
構成為在所述第一單元的所述連結部件和所述氣缸的進排氣口上能夠連接共用的所述空氣配管。
3.根據權利要求1或2所述的工業用機器人的手,其中,
所述安裝部用于安裝所述第二單元。
4.一種工業用機器人,具備:
權利要求1~3中任一項所述的工業用機器人的手;
所述空氣配管;
支承所述手的臂;以及
支承所述臂的臂支承部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





