[發明專利]用于減輕周期性干擾引起的射頻負載阻抗變化的設備及調諧方法

在審

• 申請號: 202180063533.2
• 申請日: 2021-10-01
• 公開（公告）號: CN116325071A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 亞倫·M·貝里;亞倫·T·瑞多姆斯基;馬里烏斯·歐爾德杰伊;彼得·保羅;R·萊因哈特
• 申請（專利權）人: MKS儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 于會玲;宋志強

1.一種射頻產生器，包括：

一射頻電源；及

一射頻功率控制器，耦合到該射頻電源，該射頻功率控制器被配置為生成一控制信號，以改變來自該射頻電源的一射頻輸出信號，該射頻功率控制器被配置為根據一觸發信號，調整與該射頻輸出信號相關的一參數，

其中該參數是響應于引入的該參數的擾動而根據最小化或最大化成本中的一個來調整。

2.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該成本是根據一反射功率、一傳輸功率或一反射系數的大小中的一個來確定的。

3.如權利要求1所述的射頻產生器，其中根據該成本來確定一梯度，并根據該梯度調整該參數。

4.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該參數是根據以一型樣而配置的多個調整來調整的。

5.如權利要求4所述的射頻產生器，其中該型樣根據一外部射頻輸出信號的一周期而改變。

6.如權利要求5所述的射頻產生器，其中該外部射頻輸出信號包括多個倉，并且其中該參數根據該多個倉中的每個倉而被擾動。

7.如權利要求5所述的射頻產生器，其中該多個倉中的每個倉具有一寬度，并且一選定的倉的該寬度可與另一倉的一寬度相同或不同。

8.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該射頻輸出信號是施加到一等離子體腔室的一源射頻信號，并且該觸發信號根據一外部射頻輸出信號而改變，并且該外部射頻輸出信號是施加到該等離子體腔室的一偏壓射頻信號。

9.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該射頻功率控制器根據該觸發信號調整該參數，其中該觸發信號指示一外部射頻輸出信號的一相對位置。

10.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該射頻功率控制器被配置為基于儲存在一儲存器中或動態地確定的多個數值來調整該參數。

11.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該參數是一頻率或一頻率偏移中的一個，并且包括該射頻功率控制器根據該觸發信號以一預定順序及時序向該射頻輸出信號引入的多個頻率。

12.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該參數中的一個為一電抗或一電抗偏移，并且包括由該射頻功率控制器根據該觸發信號以一預定順序及時序所控制的多個電抗，其中該電抗為電容值或電感值中的至少一個。

13.如權利要求12所述的射頻產生器，其中該電容值或電感值中的至少一個隨著相應的一電性可變電容或一電性可變電感而改變。

14.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該成本根據由一外部射頻輸出信號引起的一互調失真而改變。

15.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該射頻功率控制器還包括一回放模塊，該回放模塊被配置為檢測該觸發信號并啟動該參數的調整。

16.如權利要求15所述的射頻產生器，其中該射頻功率控制器還包括一查詢表，該查詢表被配置為儲存該回放模塊在檢測到該觸發信號之后對該參數的多次調整。

17.如權利要求1所述的射頻產生器，其中該觸發信號是周期性的或非周期性的中的一個。