[發(fā)明專利]輔助片、輔助片的制造方法及吸附方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202180059308.1
• 申請日: 2021-07-27
• 公開（公告）號: CN116235288A
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設計）人: 室田真弘
• 申請（專利權）人: 發(fā)那科株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 劉煜

1.一種輔助片(10)，其配置在吸附被吸附物(30)的吸附面(40F)和所述被吸附物之間，輔助所述被吸附物的吸附，所述輔助片的特征在于，具有：

多個第一區(qū)域(AR1)，其具有以空氣能夠通過的方式連續(xù)設置的多個細孔(12)且具有彈性；以及

一個或多個第二區(qū)域(AR2)，所述第二區(qū)域的空氣通過量比多個所述第一區(qū)域少且具有彈性，

多個所述第一區(qū)域和一個或多個所述第二區(qū)域交替配置，相互相鄰的所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域相接。

2.根據(jù)權利要求1所述的輔助片,其特征在于，

多個所述第一區(qū)域分別被一個以上的所述第二區(qū)域包圍。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的輔助片,其特征在于，

多個所述第一區(qū)域的面積大于多個所述第二區(qū)域的面積。

4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的輔助片,其特征在于，

多個所述第一區(qū)域和多個所述第二區(qū)域呈同心圓狀配置。

5.根據(jù)權利要求4所述的輔助片,其特征在于，具有：

第三區(qū)域(AR3)，所述第三區(qū)域的空氣通過量比多個所述第一區(qū)域少且具有彈性，所述第三區(qū)域沿徑向呈放射狀延伸，并進一步分割多個所述第一區(qū)域中的至少一個。

6.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的輔助片,其特征在于，

多個所述第一區(qū)域和多個所述第二區(qū)域配置成矩陣狀。

7.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的輔助片,其特征在于，

多個所述第一區(qū)域配置成矩陣狀，

一個所述第二區(qū)域以包圍多個所述第一區(qū)域的每一個的方式形成為格子狀。

8.一種輔助片的制造方法，該輔助片配置在吸附被吸附物的吸附面和所述被吸附物之間，輔助所述被吸附物的吸附，該方法包括以下工序：

前工序(P1)，準備包括第一區(qū)域的片，所述第一區(qū)域具有以空氣能夠通過的方式連續(xù)配置的多個細孔且具有彈性；以及

形成工序(P2)，針對所述第一區(qū)域形成一個或多個第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的空氣通過量比多個所述第一區(qū)域少且具有彈性，

在所述形成工序中以如下方式形成一個或多個所述第二區(qū)域，即多個所述第一區(qū)域和一個或多個所述第二區(qū)域交替配置，相互相鄰的所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域相接。

9.根據(jù)權利要求8所述的制造方法，其特征在于，

所述形成工序通過按壓沖壓模具(22)而壓碎多個所述細孔，從而形成一個或多個所述第二區(qū)域。

10.根據(jù)權利要求9所述的制造方法，其特征在于，

所述形成工序是按壓加熱后的所述沖壓模具。

11.根據(jù)權利要求8所述的制造方法，其特征在于，

在所述形成工序中,涂布熔融粘接劑,使涂布的所述熔融粘接劑固化而形成具有彈性的粘接劑,從而形成一個或多個所述第二區(qū)域。

12.一種吸附方法，其使用配置在吸附被吸附物的吸附面和所述被吸附物之間、輔助所述被吸附物的吸附的輔助片，將所述被吸附物吸附到所述吸附面上，該吸附方法的特征在于，包括：

配置步驟(S1)，將所述輔助片配置在所述被吸附物的被吸附面(30F)和工作臺(40)的所述吸附面之間；以及

吸附步驟(S2)，將所述被吸附物經(jīng)由所述輔助片吸附到所述吸附面上，

所述輔助片具有：

多個第一區(qū)域，其具有以空氣能夠通過的方式連續(xù)設置的多個細孔且具有彈性；以及

一個或多個第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的空氣通過量比多個所述第一區(qū)域少且具有彈性，多個所述第一區(qū)域和一個或多個所述第二區(qū)域交替配置，相互相鄰的所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域相接。

13.根據(jù)權利要求12所述的吸附方法,其特征在于，

所述輔助片在相對于所述被吸附物及所述工作臺未安裝的狀態(tài)下被吸附在所述吸附面上。