[發明專利]激光裝置

在審

• 申請號: 202180059282.0
• 申請日: 2021-07-28
• 公開（公告）號: CN116235370A
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發明（設計）人: 玉置善紀;關根尊史;村松侑輝;幡野佑真;竹內康樹
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;梁策

本發明的激光裝置具備：包括壁部的真空容器；配置在真空容器內的激光介質；配置在真空容器外的冷卻器；和傳熱導體，其沿著規定的方向貫通壁部，并與激光介質和冷卻器連接。

技術領域

本公開涉及激光裝置。

背景技術

已知有一種激光裝置，其具備：用于放大激光的激光介質、用于冷卻激光介質的冷卻器、和容納激光介質和冷卻器的真空容器的(例如，參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-34413號公報

發明內容

發明要解決的問題

在上述那樣的激光裝置中，例如，為了實現激光的高輸出化，如何適當地冷卻激光介質是重要的。但是，為了適當地冷卻激光介質，需要冷卻器和真空容器的大型化，其結果是，激光裝置的裝置尺寸有可能大型化。

本公開的目的在于，提供一種能夠抑制裝置尺寸的大型化并且適當地冷卻激光介質的激光裝置。

用于解決課題的方法

本公開的一個方面的激光裝置具備：包括壁部的真空容器；配置在真空容器內的激光介質；配置在真空容器外的冷卻器；和傳熱導體，其沿著規定的方向貫通壁部，并與激光介質和冷卻器連接。

在本公開的一個方面的激光裝置中，冷卻器配置在真空容器外，該冷卻器經由傳熱導體與配置在真空容器內的激光介質連接。由此，與激光介質和冷卻器配置在真空容器內的結構相比，能夠使真空容器小型化，能夠高效且可靠地冷卻激光介質。另外，在激光介質和冷卻器配置在真空容器內的結構中，激光介質受到從冷卻器發出的輻射熱的影響，但在本公開的一個方面的激光裝置中，能夠避免這樣的情況。如上所述，根據本公開的一個方面的激光裝置，能夠抑制裝置尺寸的大型化并且適當地冷卻激光介質。

也可以為，本公開的一個方面的激光裝置還具備：配置在壁部與冷卻器之間的筒體，壁部具有：將真空容器內的空間與筒體內的空間連通的開口，傳熱導體通過筒體和開口。由此，能夠維持真空容器內的真空度，并且容易地實現傳熱導體貫通真空容器的壁部的結構。另外，配置有傳熱導體的筒體內的空間，也與真空容器內的空間同樣地，成為真空度高的空間，因此，能夠防止在傳熱導體的結露的產生。

也可以為，本公開的一個方面的激光裝置還具備：支承真空容器和冷卻器的支承部；和振動消除器，其配置在支承部與冷卻器之間，并以消除上述方向上的振動的方式構成，傳熱導體以傳熱導體能夠相對于壁部沿著上述方向移動的方式貫通壁部，支承部以冷卻器能夠相對于真空容器沿著上述方向移動的方式支承真空容器和冷卻器。由此，作為冷卻器，例如，在使用產生振動的機械式的冷卻器的情況下，也能夠抑制該冷卻器的振動經由傳熱導體向激光介質傳遞。因此，能夠抑制從激光介質出射的激光的特性變得不穩定。

在本公開的一個方面的激光裝置中，也可以為，振動消除器是以能夠沿著上述方向伸縮的方式構成的第1流體壓力缸。由此，作為冷卻器，例如，在使用產生振動的機械式的冷卻器的情況下，也能夠以簡單的結構抑制該冷卻器的振動經由傳熱導體向激光介質傳遞。

也可以為，本公開的一個方面的激光裝置還具備：配置在壁部與冷卻器之間的筒體，壁部具有：將真空容器內的空間與筒體內的空間連通的開口，傳熱導體通過筒體和開口，筒體包括：以能夠沿著上述方向伸縮的方式構成的伸縮部。由此，能夠維持真空容器內的真空度，并且容易地實現傳熱導體貫通真空容器的壁部的結構。另外，配置有傳熱導體的筒體內的空間，也與真空容器內的空間同樣地，成為真空度高的空間，因此，能夠防止在傳熱導體的結露的產生。而且，配置在真空容器的壁部與冷卻器之間的筒體包括：以能夠伸縮的方式構成的伸縮部。因此，作為冷卻器，例如，在使用產生振動的機械式的冷卻器的情況下，也能夠抑制該冷卻器的振動向真空容器傳遞。