[發(fā)明專利]激光裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202180059282.0
• 申請日: 2021-07-28
• 公開（公告）號: CN116235370A
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 玉置善紀(jì);關(guān)根尊史;村松侑輝;幡野佑真;竹內(nèi)康樹
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;梁策

1.一種激光裝置，其中，具備：

包括壁部的真空容器；

配置在所述真空容器內(nèi)的激光介質(zhì)；

配置在所述真空容器外的冷卻器；和

傳熱導(dǎo)體，其沿著規(guī)定的方向貫通所述壁部，并與所述激光介質(zhì)和所述冷卻器連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

還具備：配置在所述壁部與所述冷卻器之間的筒體，

所述壁部具有：將所述真空容器內(nèi)的空間與所述筒體內(nèi)的空間連通的開口，

所述傳熱導(dǎo)體通過所述筒體和所述開口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

還具備：

支承所述真空容器和所述冷卻器的支承部；和

振動消除器，其配置在所述支承部與所述冷卻器之間，并以消除所述方向上的振動的方式構(gòu)成，

所述傳熱導(dǎo)體，以所述傳熱導(dǎo)體能夠相對于所述壁部沿著所述方向移動的方式，貫通所述壁部，

所述支承部，以所述冷卻器能夠相對于所述真空容器沿著所述方向移動的方式，支承所述真空容器和所述冷卻器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光裝置，其中，

所述振動消除器是，以能夠沿著所述方向伸縮的方式構(gòu)成的第1流體壓力缸。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光裝置，其中，

還具備：配置在所述壁部與所述冷卻器之間的筒體，

所述壁部具有：將所述真空容器內(nèi)的空間與所述筒體內(nèi)的空間連通的開口，

所述傳熱導(dǎo)體通過所述筒體和所述開口，

所述筒體包括：以能夠沿著所述方向伸縮的方式構(gòu)成的伸縮部。

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中任一項(xiàng)所述的激光裝置，其中

所述方向是鉛垂方向，

所述支承部包括：

固定有所述真空容器的裝置框架；和

第2流體壓力缸，其配置在所述裝置框架與所述冷卻器之間，并以能夠沿著所述方向伸縮的方式構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求3～6中任一項(xiàng)所述的激光裝置，其中，

還具備：激發(fā)光源，其出射入射于所述激光介質(zhì)的端面的多個位置的激發(fā)光，

所述多個位置沿著所述方向排列。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的激光裝置，其中，

具備：

各自是作為所述冷卻器的一對冷卻器；和

各自是作為所述傳熱導(dǎo)體的一對傳熱導(dǎo)體，

所述一對冷卻器，以在所述方向上夾持所述真空容器地相對的方式配置，

所述一對傳熱導(dǎo)體，以在所述方向上夾持所述激光介質(zhì)地相對的方式配置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光裝置，其中，

所述方向是鉛垂方向。