[發明專利]用于診斷未觀察的操作參數的方法和設備

在審

• 申請號: 202180032928.6
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN115552334A
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: D·E·S·K·西格特爾曼斯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05B23/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 胡良均

1.一種調整機器或設備的操作設置的方法，所述方法包括：

獲得所述機器或設備的可觀察參數對之間的多個因果關系，其中每對包括原因參數和效果參數；

針對所述參數中的至少一些，基于獲得的所述參數之間的所述因果關系來確定從所述參數至多個信息分量的分解，其中所述參數的所述分解包括協同信息分量，所述協同信息分量包括從具有所述參數作為效果參數的至少兩個因果關系的組合獲得的信息；

確定第一參數包括負協同信息分量；

基于所述負協同信息分量的存在，診斷未觀察的操作參數提供包括所述負協同信息分量的所述第一參數的原因；以及

對所述機器或設備的設置進行調整以提供對所述第一參數的期望改變，其中所述調整通過包括所述未觀察的操作參數的效果來計算。

2.根據權利要求1所述的方法，還包括：

基于參數對之間的所述多個因果關系來匯編因果圖。

3.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述多個因果關系包括量化關系。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述分解是部分信息分解。

5.根據權利要求4所述的方法，其中所述多個信息分量還包括唯一信息分量、冗余信息分量和自信息分量。

6.根據前述權利要求中任一項所述的方法，還包括：

基于所述參數的信息熵來確定所述參數的總信息，其中所述參數的所述信息分量的總和等于所述參數的所述總信息。

7.根據權利要求6所述的方法，其中所述信息熵是香農熵。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的方法，其中確定所述第一參數的所述協同信息分量包括：

確定所述第一參數的總信息；

基于具有所述第一參數作為效果參數的多個因果關系中所包含的信息，確定冗余信息分量；

基于具有所述第一參數作為效果參數的所述因果關系中的僅一個因果關系中所包含的信息，確定唯一信息分量；

基于所述第一參數原生的信息，確定自信息分量；

通過從所述總信息分量減去所述唯一信息分量、所述冗余信息分量和所述自信息分量，確定所述協同信息分量。

9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中獲得多個因果關系包括：

接收所述機器或設備的多個參數的數據值；以及

基于所述多個參數的所述數據值來確定參數對之間的因果關系。

10.根據前述權利要求中任一項所述的方法，還包括：

基于所述診斷的未觀察的參數來識別所確定的參數對之間的所述因果關系中的一個因果關系是虛假的；以及

從所述多個因果關系中移除所述虛假因果關系。

11.根據前述權利要求中任一項所述的方法，還包括：

至少部分地基于所述診斷的未觀察的操作參數來預測所述機器或設備的性能。

12.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述機器或設備包括光刻設備。

13.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述機器或設備包括量測工具。

14.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述機器或設備包括光刻單元。