[發(fā)明專(zhuān)利]透明導(dǎo)電性薄膜在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202180022465.5 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN115298022A | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-11-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 藤野望;鴉田泰介 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 日東電工株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B32B7/025 | 分類(lèi)號(hào)： | B32B7/025;B32B9/00;B32B9/04;H01B5/14;H01B13/00;C23C14/08;C23C14/34;H01Q1/52;H05K9/00;B32B7/00;B32B7/022;B32B7/023;G02F1/1333;G02F1/1343 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 透明 導(dǎo)電性 薄膜 | ||
1.一種透明導(dǎo)電性薄膜，其沿著厚度方向依次具備透明基材和透光性導(dǎo)電層，
所述透光性導(dǎo)電層含有氪，
所述透光性導(dǎo)電層在與所述厚度方向正交的面內(nèi)方向上具有小于490MPa的壓縮殘余應(yīng)力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電性薄膜，其中，所述透光性導(dǎo)電層的面內(nèi)方向的平均晶界數(shù)小于12個(gè)/μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明導(dǎo)電性薄膜，其中，所述透光性導(dǎo)電層含有含銦的導(dǎo)電性氧化物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜，其中，所述透光性導(dǎo)電層不含氙。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜，其中，所述透光性導(dǎo)電層具有2.2×10-4Ω·cm以下的電阻率。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜，其中，所述透光性導(dǎo)電層具有30nm以上的厚度。
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