[發明專利]有機硅吸附膜在審
| 申請號： | 202180011044.2 | 申請日： | 2021-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN115003503A | 公開（公告）日： | 2022-09-02 |
| 發明（設計）人： | 鈴木教一;向井駿 | 申請（專利權）人： | 富士復寫案株式會社 |
| 主分類號： | B32B27/00 | 分類號： | B32B27/00;B24B37/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444 | 代理人： | 王剛;龔敏 |
| 地址： | 日本國大阪府大阪巿*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 有機硅 吸附 | ||
【權利要求書】：
1.一種有機硅吸附膜，其包含基材層和層疊于所述基材層上的有機硅吸附層，
所述有機硅吸附層為交聯性組合物的固化物，所述交聯性組合物包含(a)交聯性有機聚硅氧烷、(b)交聯劑、(c)非反應性MQ樹脂和(d)反應性MQ樹脂。
2.根據權利要求1所述的有機硅吸附膜，其中，相對于所述(a)成分和所述(b)成分的總量100重量份，包含所述(c)成分43～100重量份、所述(d)成分1.1～10.6重量份。
3.根據權利要求1或2所述的有機硅吸附膜，其中，所述(a)成分為在1分子中含有2個以上的烯基的二有機聚硅氧烷。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的有機硅吸附膜，其中，所述(b)成分為有機氫聚硅氧烷。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的有機硅吸附膜，其中，所述有機硅吸附層的厚度為15～30μm。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的有機硅吸附膜，其中，所述有機硅吸附層的儲能模量為5×104～15×104Pa。
7.根據權利要求1～6中任一項所述的有機硅吸附膜，其中，在所述基材層與所述有機硅吸附層之間包含錨固層，所述錨固層選自聚酯系樹脂、丙烯酸系樹脂和聚氨酯系樹脂中。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的有機硅吸附膜，其中，所述有機硅吸附膜用于將所述有機硅吸附層固定在研磨裝置的平臺上而在所述基材層側固定研磨墊。
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