[發(fā)明專(zhuān)利]移動(dòng)機(jī)械手

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180008124.2
• 申請(qǐng)日: 2021-02-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115003458A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡田知大;樫禎介
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 歐姆龍株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B25J5/00
• 分類(lèi)號(hào): B25J5/00;G05D1/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 余娜;劉芳

在不增大搬送車(chē)的寬度的情況下載置兩個(gè)搬送物。移動(dòng)機(jī)械手(1)包括：無(wú)人搬送車(chē)(2)；機(jī)器人基部(3)，搭載于無(wú)人搬送車(chē)上；機(jī)器人臂(4)，搭載于機(jī)器人基部上；以及托架(5)、托架(6)，位于機(jī)器人基部上并供盒(11)載置，托架(5)將盒以?xún)A斜狀態(tài)加以保持，在俯視時(shí)，托架(6)的一部分重疊于托架(5)上。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種移動(dòng)機(jī)械手(mobile manipulator)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體工廠中，以符合規(guī)格的材料(以下，稱(chēng)為晶片(wafer))為基座(base)，一邊經(jīng)由各種工序，一邊制作半導(dǎo)體制品。多數(shù)情況是人進(jìn)行如下作業(yè)：使用可將多片晶片成套搬送的機(jī)器(以下，稱(chēng)為盒(cassette))，將這些晶片從某工序搬送到下一工序。另一方面，由于人手不足，因此也有很多人盼望將人進(jìn)行的晶片的搬送作業(yè)自動(dòng)化。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本公開(kāi)專(zhuān)利公報(bào)“日本專(zhuān)利特開(kāi)2001-306148號(hào)公報(bào)”

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問(wèn)題

在進(jìn)行所述搬送作業(yè)的自動(dòng)化(以下，稱(chēng)為自動(dòng)搬送)這一方面，重要的是將兩個(gè)盒同時(shí)搬送。

在只能搬送一個(gè)盒的情況下，無(wú)人搬送車(chē)去取加工完成的盒，進(jìn)行搭載而搬送到下一工序，然后去取新的盒來(lái)進(jìn)行搬送。因此，產(chǎn)生浪費(fèi)。另一方面，在有可同時(shí)搬送兩個(gè)的空間的情況下，無(wú)人搬送車(chē)可取出已加工完成的盒，同時(shí)將新的盒安裝于裝置中。因此，可減少浪費(fèi)。

但是，若并排搭載兩個(gè)盒，則自動(dòng)搬送機(jī)的尺寸(寬度)會(huì)變大，能夠回轉(zhuǎn)的半徑會(huì)變大。

據(jù)此，日本的半導(dǎo)體行業(yè)中，由于工廠內(nèi)通路的很多地方寬度狹窄，因此存在可導(dǎo)入自動(dòng)搬送機(jī)的環(huán)境受限的問(wèn)題。相反，若增大工廠內(nèi)通路的寬度，則存在成本提高的問(wèn)題。

本發(fā)明的一實(shí)施例的目的在于：在不增大搬送車(chē)的寬度的情況下載置兩個(gè)搬送物。

解決問(wèn)題的技術(shù)手段

為了解決所述課題，本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的移動(dòng)機(jī)械手包括：無(wú)人搬送車(chē)；機(jī)器人基部，搭載于所述無(wú)人搬送車(chē)上；機(jī)器人臂(robot arm)，搭載于所述機(jī)器人基部上；以及第一載置部及第二載置部，配置于所述機(jī)器人基部上，并供規(guī)定的搬送物載置，所述第一載置部將所述搬送物以所述搬送物的底面相對(duì)于水平而傾斜的狀態(tài)加以保持，在俯視時(shí)，所述第二載置部的一部分重疊于所述第一載置部上。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，可在不增大搬送車(chē)的寬度的情況下載置兩個(gè)搬送物。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)機(jī)械手的外觀的圖。

圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)機(jī)械手的外觀的圖。

圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的托架(bracket)的外觀的圖。

圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的盒的外觀的圖。

圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的盒的外觀的圖。

圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的托架及盒的外觀的圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明的一方面所涉及的實(shí)施方式(以下，也表述為“本實(shí)施方式”)進(jìn)行說(shuō)明。

§1應(yīng)用例

(移動(dòng)機(jī)械手1的外觀及結(jié)構(gòu))