[實用新型]一種顯影槽工裝

有效

• 申請號: 202123454056.9
• 申請日: 2021-12-31
• 公開（公告）號: CN217181406U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 羅立輝;任超;李春陽;方梁洪
• 申請（專利權）人: 寧波芯健半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種顯影槽工裝，其特征在于：包括連接底板(4)、移動組件(5)和安裝臺(6)，所述安裝臺(6)開設有用于填充顯影液的顯影槽(7)，所述連接底板(4)插接于所述顯影槽(7)內，所述連接底板(4)通過所述移動組件(5)插接于所述顯影槽(7)內升降。

2.根據權利要求1所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述移動組件(5)包括與所述連接底板(4)固定的連接架(8)、往復直線模組(9)，所述連接架(8)固定于所述往復直線模組(9)，所述往復直線模組(9)固定于所述安裝臺(6)。

3.根據權利要求2所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述安裝臺(6)開設有安裝腔(14)、與安裝腔(14)連通的升降槽(15)，所述連接架(8)穿設于所述升降槽(15)，所述往復直線模組(9)置于所述安裝腔(14)內。

4.根據權利要求3所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述升降槽(15)的內壁轉動連接有滾輪(17)。

5.根據權利要求3所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述連接架(8)設置有穿設于所述升降槽(15)內的直桿(10)，所述升降槽(15)設置有兩個，所述直桿(10)設置有兩個，一個所述直桿(10)穿設于一個所述升降槽(15)，另一個所述直桿(10)穿設于另一個所述升降槽(15)，一個直桿(10)的頂端與另一個直桿(10)定位連接。

6.根據權利要求2所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述連接架(8)設置有與所述連接底板(4)固定的外籃(12)，所述連接底板(4)固定于所述外籃(12)內。

7.根據權利要求6所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述連接底板(4)開設有定位槽(25)。

8.根據權利要求7所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述定位槽(25)的側壁凸設有定位凸起(26)。

9.根據權利要求7所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述連接底板(4)開設有與所述定位槽(25)連通的連接槽(27)。

10.根據權利要求1所述的一種顯影槽工裝，其特征在于：所述連接底板(4)開設有多個貫穿所述連接底板(4)的通孔(24)。