[實用新型]一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統有效
| 申請號： | 202123453573.4 | 申請日： | 2021-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN216955786U | 公開（公告）日： | 2022-07-12 |
| 發明（設計）人： | 周玉龍 | 申請（專利權）人： | 蘇州子山半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956;H01L21/67 |
| 代理公司： | 蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331 | 代理人： | 夏祖祥 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 實現 wafer mapping 功能 檢測 系統 | ||
1.一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，包括裝置底板(1)，其特征在于：所述裝置底板(1)的下端固定連接有升降聯動桿(9)，所述升降聯動桿(9)的一端固定連接有端頭(8)，所述裝置底板(1)的上端固定連接有側殼(5)，所述側殼(5)的內側開設有若干卡槽(6)。
2.根據權利要求1所述的一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，其特征在于：所述側殼(5)的上端固定連接有頂蓋(4)，所述頂蓋(4)的上端固定連接有拉桿(2)，所述卡槽(6)的內側夾持有晶圓片(3)。
3.根據權利要求2所述的一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，其特征在于：所述側殼(5)的一端開設有限位束口(10)，所述裝置底板(1)的外側滑動連接有裝置限位底板(12)，所述裝置限位底板(12)的上端固定連接有晶舟盒(11)，所述晶舟盒(11)的一側開設有晶舟盒開槽(14)，所述晶舟盒開槽(14)的內側固定連接有透明觀察窗(13)，所述透明觀察窗(13)的外側固定連接有攝像頭(7)。
4.根據權利要求2所述的一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，其特征在于：所述側殼(5)與卡槽(6)的之間通過澆鑄的方式一體成型，所述拉桿(2)與側殼(5)的上端通過焊接的方式固定連接。
5.根據權利要求1所述的一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，其特征在于：所述裝置底板(1)與升降聯動桿(9)的之間設置有安裝槽，所述裝置底板(1)的內側通過安裝槽與升降聯動桿(9)的上端固定連接。
6.根據權利要求2所述的一種實現wafer mapping功能的晶圓檢測系統，其特征在于：所述裝置底板(1)與頂蓋(4)、側殼(5)合圍而成限位束口(10)，所述晶圓片(3)的外側通過卡槽(6)與側殼(5)的內側滑動連接。
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