[實用新型]一種退火爐

有效

• 申請號: 202123345342.1
• 申請日: 2021-12-28
• 公開（公告）號: CN216624221U
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 趙永良
• 申請（專利權）人: 撫順領航特殊鋼有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C30B33/02
• 代理公司: 遼寧銘合專利代理事務所(普通合伙) 21262
• 代理人: 榮文嘉

本實用新型公開了一種退火爐，包括退火爐本體，所述退火爐本體頂部的左側固定連接有抽風機，所述抽風機的輸入端連通有廢氣管，所述廢氣管遠離抽風機的一端與退火爐本體的頂部連通，所述抽風機的輸出端連通有連接管，所述連接管的右端連通有凈化箱，所述凈化箱的底部與退火爐本體頂部的右側固定連接，所述凈化箱頂部的右側設置有濾芯，濾芯的底部貫穿至凈化箱的內部并與凈化箱內壁的底部接觸，濾芯左側的頂部開設有卡槽，凈化箱的頂部固定連接有卡箱。本實用新型解決了現有的退火爐不具有煙氣凈化過濾功能的問題，該退火爐，具備煙氣凈化過濾的優點，不會污染周圍的自然環境，提高了退火爐的環保性。

技術領域

本實用新型涉及退火爐技術領域，具體為一種退火爐。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，工廠生產離不開退火爐，退火爐在生產時需要產生大量煙氣，為了提高環保性，需要對退火爐排出的煙氣進行凈化處理，但是，現有的退火爐不具有煙氣凈化過濾功能，污染了周圍的自然環境，降低了退火爐的環保性。

實用新型內容

為解決上述背景技術中提出的問題，本實用新型的目的在于提供一種退火爐，具備煙氣凈化過濾的優點，解決了現有的退火爐不具有煙氣凈化過濾功能的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種退火爐，包括退火爐本體，所述退火爐本體頂部的左側固定連接有抽風機，所述抽風機的輸入端連通有廢氣管，所述廢氣管遠離抽風機的一端與退火爐本體的頂部連通，所述抽風機的輸出端連通有連接管，所述連接管的右端連通有凈化箱，所述凈化箱的底部與退火爐本體頂部的右側固定連接，所述凈化箱頂部的右側設置有濾芯，所述濾芯的底部貫穿至凈化箱的內部并與凈化箱內壁的底部接觸，所述濾芯左側的頂部開設有卡槽，所述凈化箱的頂部固定連接有卡箱，所述卡箱內壁頂部的左側固定連接有滑桿，所述滑桿的表面滑動連接有滑環，所述滑環的左側固定連接有壓桿，所述滑環的右側固定連接有升降板，所述升降板正面的右側固定連接有傳動桿，所述卡箱內壁頂部的右側固定連接有固定塊，所述固定塊的正面活動連接有旋轉板，所述旋轉板的右側固定連接有與傳動桿配合使用的三角板，所述旋轉板的左側的底部固定連接有彈簧，所述彈簧的左端與卡箱內壁左側的底部固定連接，所述旋轉板正面的底部活動連接有連板，所述連板背面的右側活動連接有豎板，所述豎板的底部固定連接有滑塊，所述卡箱內壁底部的右側開設有滑槽，所述滑塊與滑槽滑動連接，所述豎板的右側固定連接有卡桿，所述卡桿的右端貫穿卡箱并延伸至卡槽的內部，所述凈化箱的右側連通有排氣管。

作為本實用新型優選的，所述退火爐本體正面和背面頂部的兩側均固定連接有掛板，所述掛板與退火爐本體配合使用。

作為本實用新型優選的，所述壓桿的左端貫穿至卡箱的外部固定連接有壓盤，所述壓盤的表面設置有防滑紋。

作為本實用新型優選的，所述滑桿的底部固定連接有加強板，所述加強板的左側與卡箱內壁的左側固定連接。

作為本實用新型優選的，所述升降板位于三角板的后側，所述傳動桿的表面與三角板右側的頂部接觸。

作為本實用新型優選的，所述滑槽的槽型為梯形，所述滑塊的橫截面為梯形，所述滑塊與滑槽配合使用。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過設置退火爐本體、抽風機、廢氣管、連接管、凈化箱、濾芯和排氣管的配合使用，解決了現有的退火爐不具有煙氣凈化過濾功能的問題，該退火爐，具備煙氣凈化過濾的優點，不會污染周圍的自然環境，提高了退火爐的環保性。

2、本實用新型通過設置掛板，能夠配合外設吊裝設備對退火爐本體進行移動，提高了掛板的實用性。

3、本實用新型通過設置壓盤，能夠增加使用者手部與壓桿的接觸面積，便于使用者通過壓盤下壓壓桿，提高了壓盤的實用性。