[實用新型]一種半導體加工用檢測設備

有效

• 申請號: 202123282802.0
• 申請日: 2021-12-24
• 公開（公告）號: CN216988736U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 朱劍峰;黃季前;朱紅巍;沙東升;杜團祥
• 申請（專利權）人: 南通同方半導體有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 南京華恒專利代理事務所(普通合伙) 32335
• 代理人: 宋方園

本實用新型涉及一種半導體加工用檢測設備，包括底座，所述底座的頂部固定連接有工作臺，所述工作臺的頂部固定連接有支架，所述支架的頂部固定連接有頂板，所述頂板的頂部設置有清理組件，所述頂板的底部固定安裝有檢測設備。該半導體加工用檢測設備，通過電機帶動偏心輪進行轉動，偏心輪會推動活動塊進行移動，活動塊帶動支桿連接的清理刷進行移動，當推動活動塊朝正面移動時，會拉伸彈簧，當偏心輪與活動塊脫離后，彈簧發生復位會將活動塊拉回，偏心輪在電機的始終轉動下，會帶動清理刷重復移動，從而將檢測設備進行擦拭清理，起到了自動清理的作用，從而利用檢測設備對樣品進行檢測。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，具體為一種半導體加工用檢測設備。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。

在對半導體進行生產時，需要對半導體抽樣檢測，例如進行圖像檢測半導體的尺寸或封裝情況，由于長時間的使用，一般的檢測設備不具備自動清理鏡頭的作用，導致需要人工經常進行維護，及其的不方便，故而提出一種半導體加工用檢測設備來解決上述問題。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種半導體加工用檢測設備，具備可自動進行清理等優點，解決了需要人工經常進行維護，及其的不方便的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體加工用檢測設備，包括底座，所述底座的頂部固定連接有工作臺，所述工作臺的頂部固定連接有支架，所述支架的頂部固定連接有頂板，所述頂板的頂部設置有清理組件，所述頂板的底部固定安裝有檢測設備。

所述清理組件包括有與頂部固定連接的支撐架，所述支撐架的外表面固定連接有電機，所述電機的輸出軸固定連接有偏心輪，所述頂板頂部的左右兩側均固定連接有套管，兩個所述套管的內壁均固定連接有彈簧，兩個所述遠離套管的一端固定連接有活動板，兩個所述活動板遠離彈簧的一側固定連接有活動桿，兩個所述活動桿相對的一側固定連接有活動塊，所述活動塊底部的左右兩側均固定連接有支桿，兩個所述支桿相對的一側固定連接有清理刷。

進一步，所述頂板的頂部開設有數量為兩個的限位槽，所述活動塊的底部開設有數量為兩個的連接槽，兩個所述連接槽的內部均活動連接有滾輪，所述滾輪位于連接槽的內部。

進一步，所述頂板的內部開設有數量為兩個的滑孔，兩個所述滑孔的內部與支桿活動連接。

進一步，所述支撐架呈U形，且支撐架與頂板呈平行狀。

進一步，兩個所述套管通過支撐桿與頂板固定連接，且支撐桿與頂板的連接角度為九十度。

進一步，兩個所述套管相互之間平行，所述支桿呈L形。

與現有技術相比，本申請的技術方案具備以下有益效果：

該半導體加工用檢測設備，通過電機帶動偏心輪進行轉動，偏心輪會推動活動塊進行移動，活動塊帶動支桿連接的清理刷進行移動，由于套管的內壁連接有彈簧，當推動活動塊朝正面移動時，活動塊移動時，滾輪在限位槽中移動，從而可保證活動塊的穩定性，會拉伸彈簧，當偏心輪與活動塊脫離后，彈簧發生復位會將活動塊拉回，偏心輪在電機的始終轉動下，會帶動清理刷重復移動，從而將檢測設備進行擦拭清理，起到了自動清理的作用，從而利用檢測設備對樣品進行檢測。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型結構俯視圖；

圖3為本實用新型圖1中A部局部放大圖。