[實用新型]一種半導體加工用檢測設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202123282802.0
• 申請日: 2021-12-24
• 公開（公告）號: CN216988736U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設計）人: 朱劍峰;黃季前;朱紅巍;沙東升;杜團祥
• 申請（專利權）人: 南通同方半導體有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 南京華恒專利代理事務所(普通合伙) 32335
• 代理人: 宋方園

1.一種半導體加工用檢測設備，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部固定連接有工作臺(2)，所述工作臺(2)的頂部固定連接有支架(3)，所述支架(3)的頂部固定連接有頂板(4)，所述頂板(4)的頂部設置有清理組件(5)，所述頂板(4)的底部固定安裝有檢測設備(6)；

所述清理組件(5)包括有與頂部固定連接的支撐架(501)，所述支撐架(501)的外表面固定連接有電機(502)，所述電機(502)的輸出軸固定連接有偏心輪(503)，所述頂板(4)頂部的左右兩側均固定連接有套管(504)，兩個所述套管(504)的內壁均固定連接有彈簧(505)，兩個遠離所述套管(504)的一端固定連接有活動板(506)，兩個所述活動板(506)遠離彈簧(505)的一側固定連接有活動桿(507)，兩個所述活動桿(507)相對的一側固定連接有活動塊(508)，所述活動塊(508)底部的左右兩側均固定連接有支桿(509)，兩個所述支桿(509)相對的一側固定連接有清理刷(510)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體加工用檢測設備，其特征在于：所述頂板(4)的頂部開設有數量為兩個的限位槽(9)，所述活動塊(508)的底部開設有數量為兩個的連接槽(7)，兩個所述連接槽(7)的內部均活動連接有滾輪(8)，所述滾輪(8)位于連接槽(7)的內部。

3.根據權利要求1所述的一種半導體加工用檢測設備，其特征在于：所述頂板(4)的內部開設有數量為兩個的滑孔，兩個所述滑孔的內部與支桿(509)活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體加工用檢測設備，其特征在于：所述支撐架(501)呈U形，且支撐架(501)與頂板(4)呈平行狀。

5.根據權利要求1所述的一種半導體加工用檢測設備，其特征在于：兩個所述套管(504)通過支撐桿與頂板(4)固定連接，且支撐桿與頂板(4)的連接角度為九十度。

6.根據權利要求1所述的一種半導體加工用檢測設備，其特征在于：兩個所述套管(504)相互之間平行，所述支桿(509)呈L形。