[實用新型]一種晶圓片的氮氣盛放箱

有效

• 申請號: 202123251007.5
• 申請日: 2021-12-22
• 公開（公告）號: CN216835245U
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 闕進林;李永祥
• 申請（專利權）人: 蘇州亞信華電子科技有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D25/04;B65D25/24;B65D85/04
• 代理公司: 蘇州睿翼專利代理事務所(普通合伙) 32514
• 代理人: 朱林輝

本實用新型公開了一種晶圓片的氮氣盛放箱，包括箱體，所述箱體內部的兩側之間橫向設置有托板，所述箱體的一側安裝有氮氣發生器，所述氮氣發生器的頂端和箱體一側的頂端之間固定連接有導管，所述托板的頂端設置有便于拿取物料結構。該晶圓片的氮氣盛放箱通過設置有物料架板、內槽、轉輥和橡膠皮帶，使用時，將晶圓片打包好后一一嵌入支架中，并將支架擺放在物料架板上，物料架板上的三組橡膠皮帶劃分了三組擺放區域，當需要拿取對應橡膠皮帶上的晶圓片組時，只需抓住支架向外拖動，轉輥旋轉，橡膠皮帶向外滾動，減少了使用者拿取時花費的力氣，實現了便于拿取物料的功能，解決的是裝置不具備便于拿取物料的功能的問題。

技術領域

本實用新型涉及氮氣盛放箱技術領域，具體為一種晶圓片的氮氣盛放箱。

背景技術

晶圓的原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，作為一種半導體材料，其存儲擺放需要在氮氣盛放箱內，以實現抗氧化和防潮，當前市面上常見的晶圓片的氮氣盛放箱大多結構簡單，在使用過程中存在一些功能上的不足，有待改進，如晶圓片擺放位置過深時，箱體內空間較小很難向上發力提起物料，取出困難，不具備便于拿取物料的功能，其次，由于氮氣盛放箱外部為全金屬結構，在干燥環境下容易產生靜電，強烈的靜電有一定幾率擊傷晶圓表面，造成不菲的損失，不具備及時導除靜電的功能，除此之外，常規的晶圓片的氮氣盛放箱內部空間固定，無法根據實際情況靈活調整高度，不具備靈活調整箱內空間高度的功能，針對上述問題，本方案均做了對應的改進，優化了擺放物料的托板結構，仿照傳送帶結構使其可以輕易將上方的物料拖出，并且在箱體外部增加了一組接地導電線組，可以快速導除靜電，同時將內部做了改造，使用人員可以根據實際需要靈活調整托板的高度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓片的氮氣盛放箱，以解決上述背景技術中提出的不具備便于拿取物料的功能的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓片的氮氣盛放箱，包括箱體，所述箱體內部的兩側之間橫向設置有托板，所述箱體的一側安裝有氮氣發生器，所述氮氣發生器的頂端和箱體一側的頂端之間固定連接有導管，所述箱體一側的底端固定連接有L型金屬板，所述箱體內部的兩側分別固定連接有固定板，所述托板的頂端設置有便于拿取物料結構。

所述便于拿取物料結構包括物料架板，所述物料架板固定連接在托板的頂端，所述物料架板頂端的內部設置有三組內槽，所述內槽內部的兩側之間活動連接有多組轉輥。

優選的，所述轉輥的外部包覆有橡膠皮帶，所述橡膠皮帶的頂端和物料架板的頂端所在水平面相一致。

優選的，所述轉輥呈等間距排列。

優選的，所述L型金屬板的一側橫向焊接有繞樁，所述L型金屬板一側的頂端安裝有銅線，所述銅線的底端活動連接有銅錠，所述銅線沿著繞樁的外部均勻卷繞。

優選的，所述固定板的一側固定連接有多組支撐條，所述支撐條的底端安裝有三組支撐棱，所述支撐條的頂端膠結有硅膠防滑條，所述硅膠防滑條的頂端和托板的底端所在水平面相一致，二者相互接觸。

優選的，所述箱體前端的一側活動鉸接有箱門，所述箱門的內部設置有觀察窗，所述箱門前端的一側安裝有開關把手，所述箱體前端的頂端固定連接有控制面板。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該晶圓片的氮氣盛放箱不僅實現了便于拿取物料的功能，實現了及時導除靜電的功能，而且實現了靈活調整箱內空間高度的功能；

(1)通過設置有物料架板、內槽、轉輥和橡膠皮帶，使用時，將晶圓片打包好后一一嵌入支架中，并將支架擺放在物料架板上，物料架板上的三組橡膠皮帶劃分了三組擺放區域，當需要拿取對應橡膠皮帶上的晶圓片組時，只需抓住支架向外拖動，在摩擦力的作用下，轉輥旋轉，橡膠皮帶向外滾動，減少了使用者拿取時花費的力氣，實現了便于拿取物料的功能；