[實(shí)用新型]一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔?/span>有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	202123251007.5	申請(qǐng)日：	2021-12-22
公開（公告）號(hào)：	CN216835245U	公開（公告）日：	2022-06-28
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	闕進(jìn)林;李永祥	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	蘇州亞信華電子科技有限公司
主分類號(hào)：	B65D81/20	分類號(hào)：	B65D81/20;B65D25/04;B65D25/24;B65D85/04
代理公司：	蘇州睿翼專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32514	代理人：	朱林輝
地址：	215000 江蘇省蘇州***	國(guó)省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	一種晶圓片氮?dú)?/a> 盛放
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【權(quán)利要求書】：

1.一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔洌ㄏ潴w(1)，其特征在于：所述箱體(1)內(nèi)部的兩側(cè)之間橫向設(shè)置有托板(4)，所述箱體(1)的一側(cè)安裝有氮?dú)獍l(fā)生器(12)，所述氮?dú)獍l(fā)生器(12)的頂端和箱體(1)一側(cè)的頂端之間固定連接有導(dǎo)管(11)，所述箱體(1)一側(cè)的底端固定連接有L型金屬板(13)，所述箱體(1)內(nèi)部的兩側(cè)分別固定連接有固定板(17)，所述托板(4)的頂端設(shè)置有便于拿取物料結(jié)構(gòu)；

所述便于拿取物料結(jié)構(gòu)包括物料架板(6)，所述物料架板(6)固定連接在托板(4)的頂端，所述物料架板(6)頂端的內(nèi)部設(shè)置有三組內(nèi)槽(7)，所述內(nèi)槽(7)內(nèi)部的兩側(cè)之間活動(dòng)連接有多組轉(zhuǎn)輥(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔?，其特征在于：所述轉(zhuǎn)輥(8)的外部包覆有橡膠皮帶(9)，所述橡膠皮帶(9)的頂端和物料架板(6)的頂端所在水平面相一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔洌涮卣髟谟冢核鲛D(zhuǎn)輥(8)呈等間距排列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔?，其特征在于：所述L型金屬板(13)的一側(cè)橫向焊接有繞樁(14)，所述L型金屬板(13)一側(cè)的頂端安裝有銅線(15)，所述銅線(15)的底端活動(dòng)連接有銅錠(16)，所述銅線(15)沿著繞樁(14)的外部均勻卷繞。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔?，其特征在于：所述固定?17)的一側(cè)固定連接有多組支撐條(18)，所述支撐條(18)的底端安裝有三組支撐棱(19)，所述支撐條(18)的頂端膠結(jié)有硅膠防滑條(20)，所述硅膠防滑條(20)的頂端和托板(4)的底端所在水平面相一致，二者相互接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的氮?dú)馐⒎畔洌涮卣髟谟冢核鱿潴w(1)前端的一側(cè)活動(dòng)鉸接有箱門(2)，所述箱門(2)的內(nèi)部設(shè)置有觀察窗(3)，所述箱門(2)前端的一側(cè)安裝有開關(guān)把手(5)，所述箱體(1)前端的頂端固定連接有控制面板(10)。

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