[實用新型]一種光刻機用邊膠去除裝置

有效

• 申請號: 202123157210.6
• 申請日: 2021-12-15
• 公開（公告）號: CN216696985U
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 胡德立
• 申請（專利權）人: 江蘇微影半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種光刻機用邊膠去除裝置，包括用于限制芯片移動路徑的導軌，所述導軌橫截面為C字形，所述導軌一側面開設有條形口，所述條形口內安裝有可拆卸的用于去除芯片上邊膠的切刀件，所述導軌背離條形口的一側設有用于限制芯片另一端位置的L型板，所述L型板面向導軌的一面中部位置固定連接有方形桿，所述方形桿安插在方形管內，所述方形桿通過夾緊螺絲固定在方形管內，所述方形管遠離方形桿的一端與導軌固定連接，與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：實現根據芯片的寬度調整導向結構的寬度，擴大適應范圍，提高通用性。

技術領域

本實用新型是一種光刻機用邊膠去除裝置，屬于芯片加工技術領域。

背景技術

光致抗蝕劑在旋轉涂覆過程中在芯片邊緣的堆積，形成邊膠，通常將存在有邊膠的芯片在推動設備的驅動下使芯片通過安裝有刀片的導向結構，刀片沿著導向結構移動過程中刀片將芯片邊緣處的邊膠去除，但導向結構的結構固定，其寬度不能根據芯片的寬度進行調整，只適用于單一寬度的芯片，適用范圍單一，通用性不足。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種光刻機用邊膠去除裝置，以解決上述背景技術中提出芯片的導向結構的結構固定，其寬度不能根據芯片的寬度進行調整，只適用于單一寬度的芯片，適用范圍單一，通用性不足的問題，本實用新型實現根據芯片的寬度調整導向結構的寬度，擴大適應范圍，提高通用性。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種光刻機用邊膠去除裝置，包括用于限制芯片移動路徑的導軌，所述導軌橫截面為C字形，所述導軌一側面開設有條形口，所述條形口內安裝有可拆卸的用于去除芯片上邊膠的切刀件，所述導軌背離條形口的一側設有用于限制芯片另一端位置的L型板，所述L型板面向導軌的一面中部位置固定連接有方形桿，所述方形桿安插在方形管內，所述方形桿通過夾緊螺絲固定在方形管內，所述方形管遠離方形桿的一端與導軌固定連接。

進一步地，所述切刀件包括條形框，所述條形框安插在條形口內，所述條形框的兩端均固定連接有連板，所述連板通過螺絲與導軌固定連接，所述條形框內均勻安裝有多個傾斜布置的刀片。

進一步地，所述方形管安裝夾緊螺絲的位置處開設有螺紋孔，所述夾緊螺絲螺紋連接在螺紋孔內。

進一步地，所述方形桿面向夾緊螺絲的一面安裝有橡膠條，所述橡膠條沿著方形桿的長度方向布置。

進一步地，所述橡膠條面向方形桿的一面等距固定有多個與橡膠條一體成型的橡膠頭，所述方形桿面向橡膠條的一面等距開設有多個與橡膠頭相配合的銷孔，所述橡膠頭安插在銷孔內并與銷孔過盈配合。

進一步地，所述導軌開設條形口的一面下部位置固定連接有條形板，所述條形板上表面對稱開設有兩個用于安裝螺絲的固定孔。

進一步地，所述條形板上側設有與條形板存在一定間距的限位板，所述限位板與導軌固定連接，所述限位板上表面對稱開設有兩個與固定孔相對齊的圓孔。

進一步地，所述導軌的兩端均固定連接有用于托舉芯片的第一支撐條，所述L型板的兩端均固定連接有用于托舉芯片的第二支撐條。

本實用新型的有益效果：

1、當L型板與導軌之間的間距不滿足芯片寬度的要求時，調整方形桿在方形管內的位置，直至L型板與導軌之間的間距符合芯片的需要，然后利用夾緊螺絲固定方形桿在方形管內的位置，實現便捷調整L型板與導軌之間間距的目的，達到根據芯片的寬度調整導向結構的寬度，擴大適應范圍，提高通用性。

2、在導軌的兩端安裝第一支撐條以及在L型板的兩端安裝第二支撐條，從而實現在芯片進出導軌與L型板形成的導向結構的過程中對芯片進行支撐。