[實用新型]一種光刻機用邊膠去除裝置

有效

• 申請號: 202123157210.6
• 申請日: 2021-12-15
• 公開（公告）號: CN216696985U
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 胡德立
• 申請（專利權）人: 江蘇微影半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機用邊膠去除裝置，包括用于限制芯片移動路徑的導軌(1)，其特征在于：所述導軌(1)橫截面為C字形，所述導軌(1)一側面開設有條形口，所述條形口內安裝有可拆卸的用于去除芯片上邊膠的切刀件，所述導軌(1)背離條形口的一側設有用于限制芯片另一端位置的L型板(4)，所述L型板(4)面向導軌(1)的一面中部位置固定連接有方形桿(3)，所述方形桿(3)安插在方形管(2)內，所述方形桿(3)通過夾緊螺絲(8)固定在方形管(2)內，所述方形管(2)遠離方形桿(3)的一端與導軌(1)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述切刀件包括條形框(9)，所述條形框(9)安插在條形口內，所述條形框(9)的兩端均固定連接有連板(10)，所述連板(10)通過螺絲與導軌(1)固定連接，所述條形框(9)內均勻安裝有多個傾斜布置的刀片(11)。

3.根據權利要求1所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述方形管(2)安裝夾緊螺絲(8)的位置處開設有螺紋孔，所述夾緊螺絲(8)螺紋連接在螺紋孔內。

4.根據權利要求1所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述方形桿(3)面向夾緊螺絲(8)的一面安裝有橡膠條(7)，所述橡膠條(7)沿著方形桿(3)的長度方向布置。

5.根據權利要求4所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述橡膠條(7)面向方形桿(3)的一面等距固定有多個與橡膠條(7)一體成型的橡膠頭(17)，所述方形桿(3)面向橡膠條(7)的一面等距開設有多個與橡膠頭(17)相配合的銷孔(16)，所述橡膠頭(17)安插在銷孔(16)內并與銷孔(16)過盈配合。

6.根據權利要求1所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述導軌(1)開設條形口的一面下部位置固定連接有條形板(12)，所述條形板(12)上表面對稱開設有兩個用于安裝螺絲的固定孔(13)。

7.根據權利要求6所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述條形板(12)上側設有與條形板(12)存在一定間距的限位板(14)，所述限位板(14)與導軌(1)固定連接，所述限位板(14)上表面對稱開設有兩個與固定孔(13)相對齊的圓孔(15)。

8.根據權利要求1所述的一種光刻機用邊膠去除裝置，其特征在于：所述導軌(1)的兩端均固定連接有用于托舉芯片的第一支撐條(5)，所述L型板(4)的兩端均固定連接有用于托舉芯片的第二支撐條(6)。