[實用新型]一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置

有效

• 申請號: 202123142758.3
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN216427479U
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 呂遠芳
• 申請（專利權）人: 保定三晶電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/08;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置，包括外置爐框(1)、內爐體(2)和引流氣囊(3)，其特征在于：所述外置爐框(1)的內部設有內爐體(2)，所述內爐體(2)的頂部設有引流氣囊(3)，所述引流氣囊(3)與內爐體(2)之間采用隔板隔開；

所述引流氣囊(3)包括氣囊本體(31)、進氣管(32)、排氣總管(33)、排出管(34)、回流管(35)和控制閥(36)，所述氣囊本體(31)的底端連接有進氣管(32)，所述氣囊本體(31)的一側連接有排氣總管(33)，排氣總管(33)與氣囊本體(31)的內部相互連通，所述排氣總管(33)遠離氣囊本體(31)的一端連接有排出管(34)，所述排出管(34)的下方設有回流管(35)，所述回流管(35)與排氣總管(33)之間相互連通，所述排出管(34)和回流管(35)上均設有控制閥(36)。

2.根據權利要求1所述的一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置，其特征在于：所述進氣管(32)包括外管框(321)、密封墊(322)、通氣孔(323)、進氣口(324)和出氣口(325)，所述外管框(321)的內部設有密封墊(322)，所述密封墊(322)的內部開設有通氣孔(323)，所述外管框(321)的底部開設有進氣口(324)，所述外管框(321)的頂端安插在氣囊本體(31)中，外管框(321)的頂部開設有出氣口(325)。

3.根據權利要求1所述的一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置，其特征在于：所述控制閥(36)包括閥門框體(361)、透氣孔(362)、安插柱(363)、外置螺紋(364)和梅花鈕(365)，所述閥門框體(361)的兩側均開設有透氣孔(362)，所述閥門框體(361)的內部設有安插柱(363)，所述安插柱(363)的外側開設有外置螺紋(364)，所述安插柱(363)的外側固定連接有梅花鈕(365)。

4.根據權利要求2所述的一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置，其特征在于：所述密封墊(322)為采用橡膠材質制成的構件，外管框(321)的內部共設有四層密封墊(322)，密封墊(322)的外側與外管框(321)之間固定粘連連接，密封墊(322)內部的通氣孔(323)在常態下保持封閉狀態。

5.根據權利要求3所述的一種鍺單晶爐用防泄漏引流裝置，其特征在于：所述閥門框體(361)的內壁上設有內置螺紋槽，安插柱(363)上的外置螺紋(364)與內置螺紋槽之間相互咬合。