[實用新型]一種具有充氣功能的圓形平面陰極

有效

• 申請號: 202123140517.5
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN216378365U
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 張奇龍;李偉
• 申請（專利權）人: 杭州朗為科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 劉慧

本實用新型公開了一種具有充氣功能的圓形平面陰極，涉及磁控濺射技術領域。本實用新型包括環形陰極底板，所述環形陰極底板的頂部固定連接有環形陰極主體，所述環形陰極主體的頂部四周均開設有卡接槽，且環形陰極主體的圓弧內側固定連接有放置板，所述放置板上安裝有靶材板，所述環形陰極主體的頂部安裝有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安裝有卡接組件，所述環形陰極主體的內部安裝有連接板，當對靶材板上的磁場強度進行調節時，可將外接氣管與氣頂組件連接，通過對氣頂組件進行輸氣，使得氣頂組件內部構件對磁板進行頂置，繼而調節磁板與靶材板之間的間距，以便于對靶材板上的磁場進行調節，以提高膜層的均勻性，保證了鍍膜產品的產品質量。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射技術領域，具體涉及一種具有充氣功能的圓形平面陰極。

背景技術

磁控陰極為磁控濺射的核心部件，在真空狀態下通過氬氣，陰極靶材加負偏壓，從而電離氬氣變成氬離子，氬離子轟擊靶材，將靶材材料濺射出來，沉積到基片上。

1.現有的平面陰極不便于對靶材表面的磁場進行調節，繼而影響沉淀出來的膜的均勻性。

2.當靶材消耗完畢時，由于陰極對靶材安裝固定較為麻煩，不便于對靶材進行拆卸更換。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：為解決不便于對靶材表面的磁場進行調節，繼而影響沉淀出來的膜的均勻性，以及對陰極對靶材安裝固定較為麻煩，不便于對靶材進行拆卸更換的問題，本實用新型提供了一種具有充氣功能的圓形平面陰極。

本實用新型為了實現上述目的具體采用以下技術方案：

一種具有充氣功能的圓形平面陰極，包括環形陰極底板，所述環形陰極底板的頂部固定連接有環形陰極主體，所述環形陰極主體的頂部四周均開設有卡接槽，且環形陰極主體的圓弧內側固定連接有放置板，所述放置板上安裝有靶材板，所述環形陰極主體的頂部安裝有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安裝有卡接組件，所述環形陰極主體的內部安裝有連接板，所述連接板的底部固定連接有磁板，所述環形陰極主體的內側底部固定連接有氣頂組件。

進一步地，所述環形陰極主體的圓弧內部兩側均開設有滑槽，所述滑槽的內側頂部固定連接有彈簧，所述連接板的兩端均固定連接有導板，所述導板位于滑槽的內部，所述彈簧的一端與導板相互抵觸。

進一步地，所述氣頂組件包括固定連接在環形陰極主體內側底部的頂置氣囊，所述頂置氣囊的底部固定連接有相互對稱的輸氣閥，且頂置氣囊的底部一側固定連接有泄氣閥。

進一步地，所述卡接組件包括固定連接在固定板底部一側的收納盒，所述收納盒的內部螺紋連接有螺紋桿，所述螺紋桿的一端固定連接有轉柄，且螺紋桿的另一端軸承連接有擠壓塊，所述收納盒的開口兩端均固定連接有彈性片，所述彈性片的底端一側固定連接有卡接塊。

進一步地，所述卡接塊嵌入與卡接槽的內部。

進一步地，所述連接板的頂部固定連接有冷卻槽板。

本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型，當對靶材板上的磁場強度進行調節時，可將外接氣管與氣頂組件連接，通過對氣頂組件進行輸氣，使得氣頂組件內部構件對磁板進行頂置，繼而調節磁板與靶材板之間的間距，以便于對靶材板上的磁場進行調節，以提高膜層的均勻性，保證了鍍膜產品的產品質量。

2、本實用新型，當靶材板消耗殆盡時，可通過手動對卡接組件進行操作，使得卡接組件的內部構件對環形陰極主體斷開卡接固定狀態，繼而使固定板與環形陰極主體分離，以實現對靶材板進行拆卸，且操作步驟簡便，便于人們對靶材板進行更換。

附圖說明

圖1是本實用新型立體結構示意圖；

圖2是本實用新型的剖視圖；