[實(shí)用新型]一種具有充氣功能的圓形平面陰極

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202123140517.5
• 申請(qǐng)日: 2021-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN216378365U
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張奇龍;李偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州朗為科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 劉慧

1.一種具有充氣功能的圓形平面陰極，包括環(huán)形陰極底板(1)，其特征在于，所述環(huán)形陰極底板(1)的頂部固定連接有環(huán)形陰極主體(2)，所述環(huán)形陰極主體(2)的頂部四周均開設(shè)有卡接槽(24)，且環(huán)形陰極主體(2)的圓弧內(nèi)側(cè)固定連接有放置板(21)，所述放置板(21)上安裝有靶材板(5)，所述環(huán)形陰極主體(2)的頂部安裝有可拆卸式的固定板(3)，所述固定板(3)的四角均安裝有卡接組件(4)，所述環(huán)形陰極主體(2)的內(nèi)部安裝有連接板(8)，所述連接板(8)的底部固定連接有磁板(7)，所述環(huán)形陰極主體(2)的內(nèi)側(cè)底部固定連接有氣頂組件(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有充氣功能的圓形平面陰極，其特征在于，所述環(huán)形陰極主體(2)的圓弧內(nèi)部?jī)蓚?cè)均開設(shè)有滑槽(22)，所述滑槽(22)的內(nèi)側(cè)頂部固定連接有彈簧(23)，所述連接板(8)的兩端均固定連接有導(dǎo)板(81)，所述導(dǎo)板(81)位于滑槽(22)的內(nèi)部，所述彈簧(23)的一端與導(dǎo)板(81)相互抵觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有充氣功能的圓形平面陰極，其特征在于，所述氣頂組件(6)包括固定連接在環(huán)形陰極主體(2)內(nèi)側(cè)底部的頂置氣囊(63)，所述頂置氣囊(63)的底部固定連接有相互對(duì)稱的輸氣閥(61)，且頂置氣囊(63)的底部一側(cè)固定連接有泄氣閥(62)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有充氣功能的圓形平面陰極，其特征在于，所述卡接組件(4)包括固定連接在固定板(3)底部一側(cè)的收納盒(46)，所述收納盒(46)的內(nèi)部螺紋連接有螺紋桿(42)，所述螺紋桿(42)的一端固定連接有轉(zhuǎn)柄(41)，且螺紋桿(42)的另一端軸承連接有擠壓塊(43)，所述收納盒(46)的開口兩端均固定連接有彈性片(44)，所述彈性片(44)的底端一側(cè)固定連接有卡接塊(45)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有充氣功能的圓形平面陰極，其特征在于，所述卡接塊(45)嵌入與卡接槽(24)的內(nèi)部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有充氣功能的圓形平面陰極，其特征在于，所述連接板(8)的頂部固定連接有冷卻槽板(9)。