[實用新型]多電極壓力傳感器

有效

• 申請號: 202123138820.1
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN216717671U
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 楊勁松;劉慶;王小文;朱健;何炳偉;金亮
• 申請（專利權）人: 重慶市偉岸測器制造股份有限公司
• 主分類號: G01L7/08
• 分類號: G01L7/08;G01L9/12
• 代理公司: 重慶為信知識產權代理事務所(普通合伙) 50216
• 代理人: 余錦曦

本實用新型公開了一種多電極壓力傳感器，包括兩個圓盤狀的第一膜座，兩個第一膜座邊緣對焊連接以將二者之間的金屬材質膜片固定，每個第一膜座的內側面分別設有鍍膜電極，第一膜座的鍍膜電極與膜片的相應側面組成測量電容，每個第一膜座與膜片之間形成密封的感應腔；每個第一膜座外分別設置有第二膜座，第二膜座與相應的第一膜座外側邊緣密封固定連接，二者之間圍成穩壓腔，穩壓腔與位于膜片同側的感應腔連通；第二膜座內側面設有鍍膜電極，該鍍膜電極與相應第一膜座外側的金屬面組成補償電容。本實用新型的有益效果：從電學和機械兩個角度提高傳感器的測量精度。

技術領域

本實用新型涉及一種壓力測量裝置，具體涉及一種多電極壓力傳感器。

背景技術

壓力變送器廣泛應用于流體壓力和流量測量裝置上。一類壓力變送器的核心檢測元件是膜片式差壓傳感器。膜片式差壓傳感器將流體不同位置的兩個壓力信號轉換為電容信號的變化，接著后端的檢測電路對電容信號的變化進行處理，得到外加壓力的差壓值。

膜片式差壓傳感器包括兩個圓盤狀的膜座，兩個膜座之間設有測量膜片，兩個膜座對焊連接，將測量膜片夾緊。測量膜片與兩個膜座之間分別設有用于容納硅油的感應腔，兩個感應腔分別連接有引壓管，引壓管將外部待測壓力引入測量膜片兩側。由于兩側壓強不同，測量膜片向壓強較小側變形，變形量的大小反映為電容信號的變化。

在測量高壓流體時，感應腔內的壓力顯著增大，雖然膜座由剛性材料制成，但高壓下兩個膜座會向外膨脹變形，這種微量的變形也將對測量膜片的形變產生干擾，導致測量精度降低。同時，由于傳感器內液體溫度也會影響測量精度，目前這類傳感器還未考慮這一因素對測量的影響。如何優化傳感器的結構，以進一步提高檢測精度，需要多方面考慮。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種多電極壓力傳感器。

其技術方案如下：

一種多電極壓力傳感器，包括兩個圓盤狀的第一膜座，兩個所述第一膜座之間夾設有金屬材質的膜片，兩個所述第一膜座邊緣對焊連接以將所述膜片固定，每個所述第一膜座的外側面為金屬面，每個所述第一膜座的內側面分別設有鍍膜電極，該鍍膜電極與所述膜片的相應側面形成測量電容，每個所述第一膜座的鍍膜電極分別連接有第一信號引線，所述第一信號引線分別密封穿出所述第一膜座，每個所述第一膜座與所述膜片之間形成密封的感應腔，其關鍵在于，

每個所述第一膜座外分別設置有第二膜座，所述第二膜座與相應的所述第一膜座外側邊緣密封固定連接，所述第二膜座與相應的所述第一膜座之間圍成穩壓腔，所述穩壓腔與位于所述膜片同側的所述感應腔連通；

所述第二膜座的內側面也設有鍍膜電極，該鍍膜電極與相應的所述第一膜座外側的金屬面正對以形成補償電容，所述第二膜座內側面上的所述鍍膜電極連接有第二信號引線，所述第二信號引線密封穿出所述第二膜座。

作為優選技術方案，上述第二膜座的結構與所述第一膜座相同；

所述第一膜座朝向所述膜片一側開有凹槽，所述第二膜座上的凹槽朝向相應的所述第一膜座外側面；

所述凹槽內壁上設有所述鍍膜電極；

所述第一信號引線或第二信號引線與相應所述鍍膜電極的連接點靠近對應所述凹槽的邊緣。

作為優選技術方案，上述第一膜座包括玻璃材質的內圓盤和金屬材質的外圓盤，所述內圓盤的內側面上開設有所述凹槽，所述內圓盤與所述外圓盤熔結，所述內圓盤的外側面和邊緣被所述外圓盤覆蓋；

兩個所述第一膜座的外圓盤的邊緣夾持所述膜片并焊接連接；

所述內圓盤局部向外延伸出所述外圓盤的外壁圓周面，從而形成延伸塊，所述第一信號引線從所述內圓盤內向外經所述延伸塊引出。

作為優選技術方案，每個所述感應腔分別連接有引壓管，所述引壓管包括直管和彎管；