[實(shí)用新型]多電極壓力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202123138820.1
• 申請(qǐng)日: 2021-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN216717671U
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊勁松;劉慶;王小文;朱健;何炳偉;金亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶市偉岸測(cè)器制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G01L7/08
• 分類號(hào): G01L7/08;G01L9/12
• 代理公司: 重慶為信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50216
• 代理人: 余錦曦

1.一種多電極壓力傳感器，包括兩個(gè)圓盤狀的第一膜座(110)，兩個(gè)所述第一膜座(110)之間夾設(shè)有金屬材質(zhì)的膜片(120)，兩個(gè)所述第一膜座(110)邊緣對(duì)焊連接以將所述膜片(120)固定，每個(gè)所述第一膜座(110)的外側(cè)面為金屬面，每個(gè)所述第一膜座(110)的內(nèi)側(cè)面分別設(shè)有鍍膜電極，該鍍膜電極與所述膜片(120)的相應(yīng)側(cè)面形成測(cè)量電容，每個(gè)所述第一膜座(110)的鍍膜電極分別連接有第一信號(hào)引線(170)，所述第一信號(hào)引線(170)分別密封穿出所述第一膜座(110)，每個(gè)所述第一膜座(110)與所述膜片(120)之間形成密封的感應(yīng)腔(130)，其特征在于：

每個(gè)所述第一膜座(110)外分別設(shè)置有第二膜座(140)，所述第二膜座(140)與相應(yīng)的所述第一膜座(110)外側(cè)邊緣密封固定連接，所述第二膜座(140)與相應(yīng)的所述第一膜座(110)之間圍成穩(wěn)壓腔(150)，所述穩(wěn)壓腔(150)與位于所述膜片(120)同側(cè)的所述感應(yīng)腔(130)連通；

所述第二膜座(140)的內(nèi)側(cè)面也設(shè)有鍍膜電極，該鍍膜電極與相應(yīng)的所述第一膜座(110)外側(cè)的金屬面正對(duì)以形成補(bǔ)償電容，所述第二膜座(140)內(nèi)側(cè)面上的所述鍍膜電極連接有第二信號(hào)引線(180)，所述第二信號(hào)引線(180)密封穿出所述第二膜座(140)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多電極壓力傳感器，其特征在于：所述第二膜座(140)的結(jié)構(gòu)與所述第一膜座(110)相同；

所述第一膜座(110)朝向所述膜片(120)一側(cè)開有凹槽，所述第二膜座(140)上的凹槽朝向相應(yīng)的所述第一膜座(110)外側(cè)面；

所述凹槽內(nèi)壁上設(shè)有所述鍍膜電極；

所述第一信號(hào)引線(170)或第二信號(hào)引線(180)與相應(yīng)所述鍍膜電極的連接點(diǎn)靠近對(duì)應(yīng)所述凹槽的邊緣。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多電極壓力傳感器，其特征在于：所述第一膜座(110)包括玻璃材質(zhì)的內(nèi)圓盤(111)和金屬材質(zhì)的外圓盤(112)，所述內(nèi)圓盤(111)的內(nèi)側(cè)面上開設(shè)有所述凹槽，所述內(nèi)圓盤(111)與所述外圓盤(112)熔結(jié)，所述內(nèi)圓盤(111)的外側(cè)面和邊緣被所述外圓盤(112)覆蓋；

兩個(gè)所述第一膜座(110)的外圓盤(112)的邊緣夾持所述膜片(120)并焊接連接；

所述內(nèi)圓盤(111)局部向外延伸出所述外圓盤(112)的外壁圓周面，從而形成延伸塊(113)，所述第一信號(hào)引線(170)從所述內(nèi)圓盤(111)內(nèi)向外經(jīng)所述延伸塊(113)引出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多電極壓力傳感器，其特征在于：每個(gè)所述感應(yīng)腔(130)分別連接有引壓管(160)，所述引壓管(160)包括直管(161)和彎管(162)；

所述直管(161)穿設(shè)在所述第一膜座(110)中心，該直管(161)的兩端分別開口于所述內(nèi)圓盤(111)的凹槽槽底面和外圓盤(112)外側(cè)面，該直管(161)管壁與所述內(nèi)圓盤(111)和外圓盤(112)密封；

所述第二膜座(140)中心穿設(shè)有彎管(162)，該彎管(162)的內(nèi)端開口于所述第二膜座(140)的凹槽槽底面，該彎管(162)的內(nèi)端與所述直管(161)的外端正對(duì)，該彎管(162)的外端向外穿出所述第二膜座(140)，該彎管(162)的外壁與所述第二膜座(140)密封。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多電極壓力傳感器，其特征在于：所述彎管(162)為金屬管，所述彎管(162)在所述內(nèi)圓盤(111)內(nèi)的管體外壁與所述內(nèi)圓盤(111)直接接觸密封，所述彎管(162)在所述外圓盤(112)內(nèi)的管體外套設(shè)有陶瓷絕緣套，該陶瓷絕緣套將所述彎管(162)外壁與所述外圓盤(112)絕緣密封。