[實用新型]一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機

有效

• 申請號: 202123129569.2
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN216387741U
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 王耀輝;李學峰;張強
• 申請（專利權）人: 重慶宇隆電子技術研究院有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 重慶飛思明珠專利代理事務所(普通合伙) 50228
• 代理人: 蘇娟

本實用新型公開了一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，包括：機體，作用于將掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到芯片上，所述機體內部開設有缺口，所述缺口內部安裝有工件臺，所述機體內部開設有安裝槽，所述安裝槽內部嵌合有控制器。該集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，首先，采用齒條板，齒條板滑動時會通過推動固定塊而帶動控制器向安裝槽外滑動，以便于對控制器進行維護，接著，采用防塵板，當防塵板滑動到適應位置時會對缺口處進行遮蓋，從而可以對缺口進行密封防塵，最后，采用擠壓板，當擠壓板會沿螺紋桿與固定桿滑出后，此時再拉動散熱網板會與機體進行分離，便于拆卸散熱網板進行更換。

技術領域

本實用新型涉及集成電路芯片制造技術領域，具體為一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機。

背景技術

光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，現有的光刻機在使用時還存在一定缺陷，就比如；

如公開號CN209149068U一種光刻機框架及光刻機，光刻機框架包括測量支架、主基板、Y向干涉儀支架及連接臂，測量支架的下底面形成有一延伸部，延伸部上沿Y向相對的兩個側壁分別為第一側壁和第二側壁，測量支架的下底面上沿Y向位于延伸部的兩側的底面分別為第一下底面和第二下底面，主基板上開設有一凹槽，延伸部位于凹槽內，并且測量支架通過第一下底面和第二下底面與主基板連接，Y向干涉儀支架固定連接于測量支架一端，連接臂設置于主基板內，連接臂一端固定連接于Y向干涉儀支架，另一端固定連接于第一側壁。測量支架和主基板T形嵌設連接，提高了干涉測量系統的測量精度，減少了震動的傳遞對曝光成像系統的影響，有效提高了光刻機整機系統的穩定性；

這種現有技術方案在使用時還存在以下問題：

1.不便于維護控制器；

2.不便于對缺口處進行防塵；

3.不便于更換散熱網板；

所以需要針對上述問題進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，以解決上述背景技術提出的目前市場上的不便于維護控制器，不便于對缺口處進行防塵，不便于更換散熱網板的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，包括：

機體，作用于將掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到芯片上，所述機體內部開設有缺口，所述缺口內部安裝有工件臺，所述機體內部開設有安裝槽，所述安裝槽內部嵌合有控制器，所述機體一側設置有散熱網板；

滑槽，開設在所述安裝槽頂部，所述滑槽內部滑動連接有齒條板，所述滑槽一側開設有操作槽，所述操作槽內部安裝有電機，靠近齒條板的所述電機一側安裝有齒輪，所述齒條板底部固定連接有固定塊，所述固定塊固定連接在控制器一側，所述控制器底部固定連接有導向塊，所述導向塊滑動連接在導向槽內部，所述導向槽開設在安裝槽底部。

優選的，所述齒條板與齒輪之間構成嚙合結構，且齒輪與電機之間構成旋轉結構，啟動電機驅動齒輪進行轉動，齒輪轉動時會與齒條板進行嚙合。

優選的，所述缺口包括有：

移動槽，開設在所述缺口兩側，所述移動槽內部安裝有馬達，啟動馬達驅動絲桿進行在移動槽內進行轉動，絲桿轉動時會拉動滑塊沿其進行螺紋滑動，所述馬達與移動槽之間通過軸承連接有絲桿，所述絲桿上螺紋連接有滑塊，所述滑塊之間固定連接有防塵板，所述防塵板一側嵌合在收納槽內部，所述收納槽開設在缺口頂部。

優選的，所述移動槽、馬達、絲桿、滑塊關于缺口的中心線對稱分布有兩組，且缺口、收納槽與防塵板之間構成滑動連接，當防塵板滑動到適應位置時會對缺口處進行遮蓋，從而可以對缺口進行密封防塵。