[實用新型]一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機

有效

• 申請號: 202123129569.2
• 申請日: 2021-12-13
• 公開（公告）號: CN216387741U
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 王耀輝;李學峰;張強
• 申請（專利權）人: 重慶宇隆電子技術研究院有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 重慶飛思明珠專利代理事務所(普通合伙) 50228
• 代理人: 蘇娟

1.一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于，包括：

機體(1)，所述機體(1)內部開設有缺口(2)，所述缺口(2)內部安裝有工件臺(3)，所述機體(1)內部開設有安裝槽(4)，所述安裝槽(4)內部嵌合有控制器(5)，所述機體(1)一側設置有散熱網板(19)；

滑槽(6)，開設在所述安裝槽(4)頂部，所述滑槽(6)內部滑動連接有齒條板(7)，所述滑槽(6)一側開設有操作槽(8)，所述操作槽(8)內部安裝有電機(9)，靠近齒條板(7)的所述電機(9)一側安裝有齒輪(10)，所述齒條板(7)底部固定連接有固定塊(24)，所述固定塊(24)固定連接在控制器(5)一側，所述控制器(5)底部固定連接有導向塊(11)，所述導向塊(11)滑動連接在導向槽(12)內部，所述導向槽(12)開設在安裝槽(4)底部。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于：所述齒條板(7)與齒輪(10)之間構成嚙合結構，且齒輪(10)與電機(9)之間構成旋轉結構。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于：所述缺口(2)包括有：

移動槽(13)，開設在所述缺口(2)兩側，所述移動槽(13)內部安裝有馬達(14)，所述馬達(14)與移動槽(13)之間通過軸承連接有絲桿(15)，所述絲桿(15)上螺紋連接有滑塊(16)，所述滑塊(16)之間固定連接有防塵板(17)，所述防塵板(17)一側嵌合在收納槽(18)內部，所述收納槽(18)開設在缺口(2)頂部。

4.根據權利要求3所述的一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于：所述移動槽(13)、馬達(14)、絲桿(15)、滑塊(16)關于缺口(2)的中心線對稱分布有兩組，且缺口(2)、收納槽(18)與防塵板(17)之間構成滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于：所述散熱網板(19)包括有：

固定桿(20)，固定連接在所述散熱網板(19)一側，靠近固定桿(20)的所述機體(1)一側固定連接有螺紋桿(21)，所述螺紋桿(21)與固定桿(20)之間套接有擠壓板(22)，靠近擠壓板(22)的所述螺紋桿(21)上螺紋連接有螺母(23)。

6.根據權利要求5所述的一種集成電路芯片制造用便于維護控制器的光刻機，其特征在于：所述螺紋桿(21)、固定桿(20)與擠壓板(22)之間構成滑動連接，且螺紋桿(21)與固定桿(20)處于同一水平直線上。