[實用新型]一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置

有效

• 申請號: 202123119603.8
• 申請日: 2021-12-10
• 公開（公告）號: CN219010435U
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 黃永長;龍汝磊;吳萍
• 申請（專利權）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 任德欣

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，公開一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置。其中膜料承載件搬運機構包括放置臺、抓取模組、驅動模組和升降模組，其中，膜料承載件放置于放置臺上，放置臺設置兩個以上第一放置位；抓取模組用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承載件；驅動模組用于驅動放置臺，以使某一第一放置位正對第一操作位；升降模組用于驅動正對第一操作位的第一放置位上的膜料承載件升降，以使待抓取的膜料承載件位于抓取平面。本實用新型放置臺上設置有兩個以上第一放置位，以增加盛放膜料承載件的數量；通過使第一放置位的膜料承載件升降，以適應不同型號，尤其是不同高度的膜料承載件，提高了膜料承載件搬運機構的通用性。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，尤其涉及一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置。

背景技術

真空蒸發鍍膜是指在真空環境中，將待成膜物質加熱蒸發或升華后，使其在低溫工件或基片表面凝結或沉積，以形成鍍層的工藝。待成膜物質通常盛放于膜料承載件內。現有技術中，膜料承載件的搬運機構主要針對某一型號膜料承載件進行搬運，通用性差。

所以，亟需一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置，以解決上述問題。

實用新型內容

基于以上所述，本實用新型的目的在于提供一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置，通用性好，搬運效率高。

為達上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種膜料承載件搬運機構，包括：

放置臺，膜料承載件放置于所述放置臺上，所述放置臺設置兩個以上第一放置位；

抓取模組，用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承載件；

驅動模組，用于驅動所述放置臺，以使某一所述第一放置位正對所述第一操作位；

升降模組，用于驅動正對所述第一操作位的所述第一放置位上的所述膜料承載件升降，以使待抓取的所述膜料承載件位于所述抓取平面。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述抓取模組包括抓取本體和滑動設置于所述抓取本體上的兩個手爪，兩個所述手爪被第一驅動組件驅動以沿抓取方向相互靠近，以抓取所述膜料承載件。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述第一驅動組件包括：

兩根連桿，一一對應地與兩個所述手爪連接；

第一驅動件，兩根所述連桿均與所述第一驅動件連接，所述第一驅動件能驅動兩個所述連桿轉動，以使兩個所述手爪沿所述抓取本體滑動。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述抓取模組還包括復位組件，所述復位組件被配置為能使兩個所述手爪具有相互遠離的趨勢。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述復位組件包括：

第二抓取滑塊，滑動設置于所述抓取本體上，兩個所述手爪均與所述第二抓取滑塊連接，所述第一驅動組件的驅動端與所述第二抓取滑塊連接，所述第一驅動組件能驅動所述第二抓取滑塊滑動至兩個所述手爪相互靠近的位置；

第二驅動件，與所述第二抓取滑塊連接，所述第二驅動件能使所述第二抓取滑塊滑動至使兩個所述手爪相互遠離的位置。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述第一放置位包括：

放置板，置于所述放置臺上方，所述膜料承載件置于所述放置板上；

導向桿，穿設于所述放置臺，一端與所述放置板連接，另一端與所述升降模組的驅動端連接。

作為一種膜料承載件搬運機構的優選方案，所述放置臺上設置有定位銷，所述定位銷用于定位所述膜料承載件。