[實用新型]一種膜料承載件搬運機構及真空鍍膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202123119603.8 | 申請日: | 2021-12-10 |
| 公開(公告)號: | CN219010435U | 公開(公告)日: | 2023-05-12 |
| 發(fā)明(設計)人: | 黃永長;龍汝磊;吳萍 | 申請(專利權)人: | 光馳科技(上海)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 任德欣 |
| 地址: | 200436 上海市寶山區(qū)*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 承載 搬運 機構 真空鍍膜 裝置 | ||
1.一種膜料承載件搬運機構,其特征在于,包括:
放置臺(110),膜料承載件(200)放置于所述放置臺(110)上,所述放置臺(110)設置兩個以上第一放置位(111);
抓取模組(120),用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承載件(200);
驅動模組(130),用于驅動所述放置臺(110),以使某一所述第一放置位(111)正對所述第一操作位;
升降模組(140),用于驅動正對所述第一操作位的所述第一放置位(111)上的所述膜料承載件(200)升降,以使待抓取的所述膜料承載件(200)位于所述抓取平面。
2.根據(jù)權利要求1所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述抓取模組(120)包括抓取本體(121)和滑動設置于所述抓取本體(121)上的兩個手爪(122),兩個所述手爪(122)被第一驅動組件驅動以沿抓取方向相互靠近,以抓取所述膜料承載件(200)。
3.根據(jù)權利要求2所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述第一驅動組件包括:
兩根連桿(123),一一對應地與兩個所述手爪(122)連接;
第一驅動件(126),兩根所述連桿(123)均與所述第一驅動件(126)連接,所述第一驅動件(126)能驅動兩個所述連桿(123)轉動,以使兩個所述手爪(122)沿所述抓取本體(121)滑動。
4.根據(jù)權利要求2所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述抓取模組(120)還包括復位組件,所述復位組件被配置為能使兩個所述手爪(122)具有相互遠離的趨勢。
5.根據(jù)權利要求4所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述復位組件包括:
第二抓取滑塊(125),滑動設置于所述抓取本體(121)上,兩個所述手爪(122)均與所述第二抓取滑塊(125)連接,所述第一驅動組件的驅動端與所述第二抓取滑塊(125)連接,所述第一驅動組件能驅動所述第二抓取滑塊(125)滑動至兩個所述手爪(122)相互靠近的位置;
第二驅動件(124),與所述第二抓取滑塊(125)連接,所述第二驅動件(124)能使所述第二抓取滑塊(125)滑動至使兩個所述手爪(122)相互遠離的位置。
6.根據(jù)權利要求1所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述第一放置位(111)包括:
放置板,置于所述放置臺(110)上方,所述膜料承載件(200)置于所述放置板上;
導向桿(113),穿設于所述放置臺(110),一端與所述放置板連接,另一端與所述升降模組(140)的驅動端連接。
7.根據(jù)權利要求1所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述放置臺(110)上設置有定位銷(114),所述定位銷(114)用于定位所述膜料承載件(200)。
8.根據(jù)權利要求1-7任一項所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,還包括移動模組(150),所述抓取模組(120)設置于所述移動模組(150)上,所述移動模組(150)被配置為能驅動所述抓取模組(120)在抓取位和第二操作位(3112)之間移動。
9.根據(jù)權利要求8所述的膜料承載件搬運機構,其特征在于,所述移動模組(150)包括升降組件(151)和平移組件(152),所述升降組件(151)被配置為驅動所述抓取模組(120)在所述抓取平面和平移平面之間升降,所述平移組件(152)被配置為驅動所述抓取模組(120)在所述平移平面內平移。
10.一種真空鍍膜裝置,其特征在于,包括鍍膜機構(300)和為所述鍍膜機構(300)搬運膜料承載件(200)的如權利要求1-9任一項所述的膜料承載件搬運機構(100)。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





