[實(shí)用新型]前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202122978230.3 | 申請日： | 2021-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN216285188U | 公開（公告）日： | 2022-04-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳德義;顏桂花;錢瑤;王榮 | 申請（專利權(quán)）人： | 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人： | 王玉國 |
| 地址： | 239599 安徽省滁州市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 前驅(qū) 材料 氣化 特性 測定 裝置 | ||
本實(shí)用新型涉及前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置，載氣儲罐，提供載氣源；載氣流量調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)載氣流量，連接于載氣儲罐與載氣流量計之間；載氣流量計，控制載氣流量，與前驅(qū)體鋼瓶連接；氣壓計，測定前驅(qū)體鋼瓶內(nèi)被測樣品的氣相分壓；溫度計二，測定前驅(qū)體鋼瓶內(nèi)被測樣品溫度；前驅(qū)體鋼瓶，置于恒溫加熱控溫模塊中，二者置于熱重分析儀上；溫度計一，測定恒溫加熱控溫模塊溫度；混合氣流量調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)樣品氣流量，連接于前驅(qū)體鋼瓶與顆粒度儀之間；顆粒度儀，測定液體前驅(qū)體材料汽化后氣相產(chǎn)品的顆粒物含量；混合氣流量計，與顆粒度儀連接；截止閥，連接于混合氣流量計與液氮冷阱和樣品回收裝置之間。實(shí)現(xiàn)全方位評估前驅(qū)體材料氣化特性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置。
背景技術(shù)
目前，ALD(原子氣相沉積))和CVD(化學(xué)氣相沉積)是芯片生產(chǎn)中非常關(guān)鍵的制程，隨著晶圓器件的小型化，集成電路的線寬比要求越來越大，不同層級的膜厚要求越來越小，由于絕緣層厚度的不斷縮小，擊穿電壓也越來越小，擊穿電壓與金屬雜質(zhì)含量有關(guān)，因此要求成膜前驅(qū)體材料的痕量金屬雜質(zhì)越低越好。不論是CVD或ALD工藝都需要?dú)饣蟪赡ぃ膀?qū)體材料的氣化特性和氣化穩(wěn)定性顯得尤為重要，氣態(tài)前驅(qū)體材料的質(zhì)量是影響晶圓器件良率的關(guān)鍵因素。
另外，隨著前驅(qū)體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程加快，各類國內(nèi)前驅(qū)體材料層出不窮，ALD和CVD設(shè)備及材料非常昂貴，如果前驅(qū)體材料品質(zhì)和氣化特性異常，很可能污染設(shè)備機(jī)臺或造成晶圓加工不良，給下游客戶帶來極大隱患，索賠金額巨大，因此目前各類晶圓代工及研發(fā)機(jī)構(gòu)不敢輕易更換前驅(qū)體材料，驗(yàn)證周期較長，3～36月不等，由于風(fēng)險較大，下游FAB廠除非必要不愿意給前驅(qū)體供應(yīng)商試用機(jī)會，非常不利于前驅(qū)體材料的國產(chǎn)化，因此對原料的氣化及沉積特性進(jìn)行充分的測試和評估顯得很有必要。
因此，需要基于全方位評估前驅(qū)體材料氣化特性而研發(fā)一種測試裝置。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置，主要應(yīng)用于ALD或CVD前驅(qū)體材料氣化特性測試，旨在對原料的氣化及沉積特性進(jìn)行充分的測試和評估，確保前驅(qū)體材料氣化穩(wěn)定性，降低和避免不良。
本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：
前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置，特點(diǎn)是：包含：
載氣儲罐，用于提供載氣源；
載氣流量調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)載氣流量，連接于載氣儲罐與載氣流量計之間；
載氣流量計，用于控制載氣流量，與前驅(qū)體鋼瓶連接；
氣壓計，用于測定前驅(qū)體鋼瓶內(nèi)被測樣品的氣相分壓；
溫度計二，用于測定前驅(qū)體鋼瓶內(nèi)被測樣品溫度；
前驅(qū)體鋼瓶，置于恒溫加熱控溫模塊中，前驅(qū)體鋼瓶和恒溫加熱控溫模塊一起置于熱重分析儀上；
溫度計一，用于測定恒溫加熱控溫模塊內(nèi)循環(huán)液溫度；
混合氣流量調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)樣品氣流量，連接于前驅(qū)體鋼瓶與顆粒度儀之間；
顆粒度儀，用于測定液體前驅(qū)體材料汽化后氣相產(chǎn)品的顆粒物含量；
混合氣流量計，用于控制樣品氣流量，與顆粒度儀連接；
截止閥，用于防止空氣倒入，連接于混合氣流量計與液氮冷阱和樣品回收裝置之間。
進(jìn)一步地，上述的前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置，其中，前驅(qū)體鋼瓶內(nèi)插入內(nèi)置溫度計二和氣壓計。
進(jìn)一步地，上述的前驅(qū)體材料氣化特性的測定裝置，其中，恒溫加熱控溫模塊中插入外置溫度計一。
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