[實用新型]前驅體材料氣化特性的測定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122978230.3
• 申請日: 2021-11-26
• 公開（公告）號: CN216285188U
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設計）人: 陳德義;顏桂花;錢瑤;王榮
• 申請（專利權）人: 南大光電半導體材料有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.前驅體材料氣化特性的測定裝置，其特征在于：包含：

載氣儲罐(1)，用于提供載氣源；

載氣流量調節(jié)閥(2)，用于調節(jié)載氣流量，連接于載氣儲罐(1)與載氣流量計(3)之間；

載氣流量計(3)，用于控制載氣流量，與前驅體鋼瓶(6)連接；

氣壓計(5)，用于測定前驅體鋼瓶(6)內被測樣品的氣相分壓；

溫度計二(4)，用于測定前驅體鋼瓶(6)內被測樣品溫度；

前驅體鋼瓶(6)，置于恒溫加熱控溫模塊(7)中，前驅體鋼瓶(6)和恒溫加熱控溫模塊(7)一起置于熱重分析儀(8)上；

溫度計一(9)，用于測定恒溫加熱控溫模塊(7)溫度；

混合氣流量調節(jié)閥(10)，用于調節(jié)樣品氣流量，連接于前驅體鋼瓶(6)與顆粒度儀(11)之間；

顆粒度儀(11)，用于測定液體前驅體材料汽化后氣相產品的顆粒物含量；

混合氣流量計(12)，用于控制樣品氣流量，與顆粒度儀(11)連接；

截止閥(13)，用于防止空氣倒入，連接于混合氣流量計(12)與液氮冷阱和樣品回收裝置(14)之間。

2.根據權利要求1所述的前驅體材料氣化特性的測定裝置，其特征在于：前驅體鋼瓶(6)內插入內置溫度計二(4)和氣壓計(5)。

3.根據權利要求1所述的前驅體材料氣化特性的測定裝置，其特征在于：恒溫加熱控溫模塊(7)中插入外置溫度計一(9)。

4.根據權利要求1所述的前驅體材料氣化特性的測定裝置，其特征在于：載氣儲罐(1)、載氣流量調節(jié)閥(2)、載氣流量計(3)與前驅體鋼瓶(6)依次以串聯方式采用1/8〞、1/4〞或1/2〞管路相連接，前驅體鋼瓶(6)、混合氣流量調節(jié)閥(10)、顆粒度儀(11)、混合氣流量計(12)、截止閥(13)與液氮冷阱和樣品回收裝置(14)依次以串聯方式采用1/8〞、1/4〞或1/2〞管路相連接。