[實用新型]一種高速高精度固晶機

有效

• 申請號: 202122915843.2
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN217062046U
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 渠敬國;彭清龍;王世源
• 申請（專利權）人: 上海贏朔電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/48;H01L21/677
• 代理公司: 上海專益專利代理事務所(特殊普通合伙) 31381
• 代理人: 方燕娜;王雯婷

本實用新型屬于半導體固晶設備技術領域，具體是一種高速高精度固晶機。一種高速高精度固晶機，雙模式上料裝置設置在送料軌道機構的入料端，刷膠機構設置在送料軌道機構前部上方，晶圓臺豎直設置在送料軌道機構后部一側，晶圓臺中部設有頂針機構，固晶機構豎直旋轉設置在送料軌道機構后部上方，固晶機構的旋轉軸線與晶圓臺平行，固晶機構的出料端設有下料裝置。同現有技術相比，通過豎直設置晶圓臺，使固晶機構的旋轉軸線與晶圓臺平行，吸取芯片的方式采用多個吸嘴轉塔式焊頭，使焊頭在晶圓臺一側做垂直圓周運動，縮短焊頭的水平運動距離，晶圓的尺寸變大也不影響吸嘴擺臂的長度，提高了固精精度，提高了效率和穩定性。

技術領域

本實用新型屬于半導體固晶設備技術領域，具體是一種高速高精度固晶機。

背景技術

傳統固晶機設備采用單擺臂單吸嘴固晶，點膠方式采用針筒點膠閥單個點膠效率低下，且傳統機構采用晶圓和工作臺水平放置的結構，隨著晶圓尺寸發展越來越大就會導致擺臂越做越長精度也隨之變差。

伴隨半導體產業的高速發展，市場對固晶設備的速度，精度可靠性要求越來越高，迫切需要提升設備性能。

因此，需要設計一種高速高精度固晶機，使晶圓的尺寸變化不影響焊頭擺臂的長度，并提高固晶設備的速度和精度可靠性。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術的不足，提供了一種高速高精度固晶機，使晶圓的尺寸變化不影響焊頭擺臂的長度，并提高固晶設備的速度和精度可靠性。

為達到上述目的，本實用新型是一種高速高精度固晶機，包括雙模式上料裝置、送料軌道、刷膠機構、晶圓臺、頂針機構、固晶機構、下料裝置，其特征在于：雙模式上料裝置設置在送料軌道機構的入料端，刷膠機構設置在送料軌道機構前部上方，晶圓臺豎直設置在送料軌道機構后部一側，晶圓臺中部設有頂針機構，固晶機構豎直旋轉設置在送料軌道機構后部上方，固晶機構的旋轉軸線與晶圓臺平行，固晶機構的出料端設有下料裝置，固晶機構包括旋轉電機、焊頭擺臂、焊頭、旋轉矯正電機、力控電機、焊頭位移傳感器，焊頭擺臂的圓心與旋轉電機的軸連接，沿焊頭擺臂的周向間隔設置至少2個力控電機，力控電機與旋轉矯正電機連接，旋轉矯正電機的軸與焊頭連接，焊頭位移傳感器設置在焊頭一側，焊頭位移傳感器與焊頭擺臂連接，固晶機構與送料軌道機構之間設有固晶視覺定位機構。

所述的晶圓臺包括晶框底座、X軸移動平臺、Y軸移動平臺、晶圓旋轉電機，晶圓旋轉電機與晶框底座采用傳動件一連接，晶框底座的后部與Y軸移動平臺連接，Y軸移動平臺的后側與X軸移動平臺連接。

所述的模式上料裝置包括吸料機構、推料盒機構、疊片臺、上料軌道、料盒回收機構、推片機構、升降臺，疊片臺設置在推料盒機構上側，推料盒機構的裝載推桿穿過疊片臺的長腰孔，吸料機構設置在疊片臺上方，升降臺位于推料盒機構的一側，推片機構設置在升降臺的一側，上料軌道與推料盒機構下側連接，料盒回收機構設置在推料盒機構下方。

所述的送料軌道包括軌道本體、送料夾爪、直線電機、導軌、壓料片、壓料電機，壓料片設置在軌道本體上方，壓料片下部與壓料電機采用傳動件二連接，導軌設置在軌道本體一側，送料夾爪與導軌活動連接，直線電機設置在導軌一側，直線電機與送料夾爪連接。

所述的軌道本體的點膠位一側上方、固晶位一側上方均設有壓料片，軌道本體的點膠位對角處的上方設有定位相機。

所述的刷膠機構包括X軸移動機構、Y軸移動機構、Z軸移動機構、刷膠電機、升降氣缸、刷膠板、鋼網，鋼網設置在刷膠板下方，刷膠板與升降氣缸上部連接，升降氣缸與刷膠電機采用傳動件連接，鋼網、刷膠電機與Z軸移動機構采用連接件連接，Z軸移動機構設置在Y軸移動機構上，Y軸移動機構設置在X軸移動機構上。