[實用新型]一種高速高精度固晶機

有效

• 申請號: 202122915843.2
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN217062046U
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 渠敬國;彭清龍;王世源
• 申請（專利權）人: 上海贏朔電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/48;H01L21/677
• 代理公司: 上海專益專利代理事務所(特殊普通合伙) 31381
• 代理人: 方燕娜;王雯婷

1.一種高速高精度固晶機，包括雙模式上料裝置（1）、送料軌道（2）、刷膠機構（3）、晶圓臺（4）、頂針機構（5）、固晶機構（6）、下料裝置（7），其特征在于：雙模式上料裝置（1）設置在送料軌道機構（2）的入料端，刷膠機構（3）設置在送料軌道機構（2）前部上方，晶圓臺（4）豎直設置在送料軌道機構（2）后部一側，晶圓臺（4）中部設有頂針機構（5），固晶機構（6）豎直旋轉設置在送料軌道機構（2）后部上方，固晶機構（6）的旋轉軸線與晶圓臺（4）平行，固晶機構（6）的出料端設有下料裝置（7），固晶機構（6）包括旋轉電機（6-1）、焊頭擺臂（6-2）、焊頭（6-3）、旋轉矯正電機（6-4）、力控電機（6-5）、焊頭位移傳感器（6-6），焊頭擺臂（6-2）的圓心與旋轉電機（6-1）的軸連接，沿焊頭擺臂（6-2）的周向間隔設置至少2個力控電機（6-5），力控電機（6-5）與旋轉矯正電機（6-4）連接，旋轉矯正電機（6-4）的軸與焊頭（6-3）連接，焊頭位移傳感器（6-6）設置在焊頭（6-3）一側，焊頭位移傳感器（6-6）與焊頭擺臂（6-2）連接，固晶機構（6）與送料軌道機構（2）之間設有固晶視覺定位機構（6-8）。

2.根據權利要求1所述的一種高速高精度固晶機，其特征在于：所述的晶圓臺（4）包括晶框底座（4-1）、X軸移動平臺（4-2）、Y軸移動平臺（4-3）、晶圓旋轉電機（4-4），晶圓旋轉電機（4-4）與晶框底座（4-1）采用傳動件一連接，晶框底座（4-1）的后部與Y軸移動平臺（4-3）連接，Y軸移動平臺（4-3）的后側與X軸移動平臺（4-2）連接。

3.根據權利要求1所述的一種高速高精度固晶機，其特征在于：所述的雙模式上料裝置（1）包括吸料機構（1-1）、推料盒機構（1-2）、疊片臺（1-3）、上料軌道（1-4）、料盒回收機構（1-5）、推片機構（1-6）、升降臺（1-7），疊片臺（1-3）設置在推料盒機構（1-2）上側，推料盒機構（1-2）的裝載推桿穿過疊片臺（1-3）的長腰孔，吸料機構（1-1）設置在疊片臺（1-3）上方，升降臺（1-7）位于推料盒機構（1-2）的一側，推片機構（1-6）設置在升降臺（1-7）的一側，上料軌道（1-4）與推料盒機構（1-2）下側連接，料盒回收機構（1-5）設置在推料盒機構（1-2）下方。

4.根據權利要求1所述的一種高速高精度固晶機，其特征在于：所述的送料軌道（2）包括軌道本體（2-1）、送料夾爪（2-2）、直線電機（2-3）、導軌（2-4）、壓料片（2-5）、壓料電機（2-6），壓料片（2-5）設置在軌道本體（2-1）上方，壓料片（2-5）下部與壓料電機（2-6）采用傳動件二連接，導軌（2-4）設置在軌道本體（2-1）一側，送料夾爪（2-2）與導軌（2-4）活動連接，直線電機（2-3）設置在導軌（2-4）一側，直線電機（2-3）與送料夾爪（2-2）連接。

5.根據權利要求4所述的一種高速高精度固晶機，其特征在于：所述的軌道本體（2-1）的點膠位一側上方、固晶位一側上方均設有壓料片（2-5），軌道本體（2-1）的點膠位對角處的上方設有定位相機（3-8）。

6.根據權利要求1所述的一種高速高精度固晶機，其特征在于：所述的刷膠機構（3）包括X軸移動機構（3-1）、Y軸移動機構（3-2）、Z軸移動機構（3-3）、刷膠電機（3-4）、升降氣缸（3-5）、刷膠板（3-6）、鋼網（3-7），鋼網（3-7）設置在刷膠板（3-6）下方，刷膠板（3-6）與升降氣缸（3-5）上部連接，升降氣缸（3-5）與刷膠電機（3-4）采用傳動件連接，鋼網（3-7）、刷膠電機（3-4）與Z軸移動機構（3-3）采用連接件連接，Z軸移動機構（3-3）設置在Y軸移動機構（3-2）上，Y軸移動機構（3-2）設置在X軸移動機構（3-1）上。