[實用新型]一種離子植入機維修保養環境保護裝置

有效

• 申請號: 202122604900.5
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN216213252U
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 彭代全;徐康;褚書明;周孝;潘家英;彭雅琴
• 申請（專利權）人: 上海裕詩實業有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;B08B15/04;B08B5/04
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 耿悅

本實用新型公開了一種離子植入機維修保養環境保護裝置，包括：封閉式工作倉，封閉式工作倉與離子植入機的后部密封連接；負壓接口，設置在封閉式工作倉的頂部，負壓接口與外部的負壓發生設備相連接；滑桿，水平設置在封閉式工作倉的內部上方；多個第一負壓吸風盤，分別經滑塊與滑桿滑動連接，相鄰兩個第一負壓吸風盤之間通過伸縮風管相連通；總管，設置在封閉式工作倉內，總管與負壓接口相連通，且總管還與伸縮風管相連通；豎管，一端與總管相連通，豎管的另一端設置在封閉式工作倉的側壁上，且豎管上設有至少一個外接口，外接口通過軟管與第二負壓吸風盤相連接。本實用新型避免了廢氣的逸散和對環境的污染，提高了廢氣的抽吸效率。

技術領域

本實用新型涉及離子植入機技術領域，尤其涉及一種離子植入機維修保養環境保護裝置。

背景技術

現有技術中，離子植入機需要定期進行維修保養，由于離子植入機在工作中，容易產生較多的廢氣，因此，在維修保養時候，也需要對環境進行隔離保護。

實用新型內容

基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種密封效果好、避免了廢氣逸散、抽吸效率高的離子植入機維修保養環境保護裝置。

一種離子植入機維修保養環境保護裝置，包括：

封閉式工作倉，所述封閉式工作倉與離子植入機的后部密封連接；

負壓接口，設置在所述封閉式工作倉的頂部，所述負壓接口與外部的負壓發生設備相連接；

滑桿，水平設置在所述封閉式工作倉的內部上方；

多個第一負壓吸風盤，分別經滑塊與所述滑桿滑動連接，相鄰兩個所述第一負壓吸風盤之間通過伸縮風管相連通；

總管，設置在所述封閉式工作倉內，所述總管與所述負壓接口相連通，且所述總管還與所述伸縮風管相連通；

豎管，一端與所述總管相連通，所述豎管的另一端設置在所述封閉式工作倉的側壁上，且所述豎管上設有至少一個外接口，所述外接口通過軟管與第二負壓吸風盤相連接。

在其中一個實施例中，所述第一負壓吸風盤和第二負壓吸風盤均包括吸風盤本體，所述吸風盤本體的至少一側側壁上設有通風口，所述吸風盤本體的底部設有與所述通風口相連通的喇叭形擴風罩。

在其中一個實施例中，所述喇叭形擴風罩內設有過濾網。

在其中一個實施例中，所述滑桿的兩端分別設有限位塊。

在其中一個實施例中，所述封閉式工作倉的兩側分別設有門體。

在其中一個實施例中，所述封閉式工作倉的上部設有透明觀察窗。

上述離子植入機維修保養環境保護裝置，通過負壓發生設備產生負壓，經第一負壓吸風盤將封閉式工作倉內的廢氣抽出，其避免了廢氣的逸散和對環境的污染，并且，第一負壓吸風盤可以經滑塊沿著滑桿水平滑動，使多個第一負壓吸風盤能在廢氣集中產生部位進行聚集，從而可以提高廢氣的抽吸效率，同時，還可以通過軟管和第二負壓吸風盤有針對性地對特定區域進行抽吸，從而提高了其實用性和適用范圍。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型的離子植入機維修保養環境保護裝置的使用狀態圖；

圖2是本實用新型的離子植入機維修保養環境保護裝置的內部結構示意圖；

圖3是本實用新型的第一負壓吸風盤或第二負壓吸風盤的結構示意圖。

具體實施方式