[實用新型]一種離子植入機維修保養環境保護裝置

有效

• 申請號: 202122604900.5
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN216213252U
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 彭代全;徐康;褚書明;周孝;潘家英;彭雅琴
• 申請（專利權）人: 上海裕詩實業有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;B08B15/04;B08B5/04
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 耿悅

1.一種離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，包括：

封閉式工作倉，所述封閉式工作倉與離子植入機的后部密封連接；

負壓接口，設置在所述封閉式工作倉的頂部，所述負壓接口與外部的負壓發生設備相連接；

滑桿，水平設置在所述封閉式工作倉的內部上方；

多個第一負壓吸風盤，分別經滑塊與所述滑桿滑動連接，相鄰兩個所述第一負壓吸風盤之間通過伸縮風管相連通；

總管，設置在所述封閉式工作倉內，所述總管與所述負壓接口相連通，且所述總管還與所述伸縮風管相連通；

豎管，一端與所述總管相連通，所述豎管的另一端設置在所述封閉式工作倉的側壁上，且所述豎管上設有至少一個外接口，所述外接口通過軟管與第二負壓吸風盤相連接。

2.如權利要求1所述的離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，所述第一負壓吸風盤和第二負壓吸風盤均包括吸風盤本體，所述吸風盤本體的至少一側側壁上設有通風口，所述吸風盤本體的底部設有與所述通風口相連通的喇叭形擴風罩。

3.如權利要求2所述的離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，所述喇叭形擴風罩內設有過濾網。

4.如權利要求1所述的離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，所述滑桿的兩端分別設有限位塊。

5.如權利要求4所述的離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，所述封閉式工作倉的兩側分別設有門體。

6.如權利要求5所述的離子植入機維修保養環境保護裝置，其特征在于，所述封閉式工作倉的上部設有透明觀察窗。