[實用新型]一種雙列式硅片承載結構

有效

• 申請號: 202122462764.0
• 申請日: 2021-10-13
• 公開（公告）號: CN216213306U
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 戴國焱
• 申請（專利權）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 無錫嘉馳知識產權代理事務所(普通合伙) 32388
• 代理人: 張華偉

本實用新型公開了一種雙列式硅片承載結構，包括第一架板、第二架板、第一側桿、第二側桿、底桿和中央間隔桿；所述第一側桿和第二側桿水平對向設置于第一架板和第二架板的橫向側邊，且所述第一側桿和第二側桿的兩端連接于第一架板和第二架板；所述底桿的兩端連接于第一架板和第二架板的底部側邊；所述中央間隔桿的兩端連接于第一架板和第二架板中心位置；所述第一側桿、第二側桿和中央間隔桿對應接觸硅片的周側均設有齒形嵌片；所述底桿對應接觸硅片的一側設有左半齒形嵌片和右半齒形嵌片；若干所述左半齒形嵌片和右半齒形嵌片依次交替排設于底桿的周側。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工輔具技術領域，尤其涉及一種雙列式硅片承載結構。

背景技術

硅片主要用于光伏行業，在硅片加工轉運過程中需要將其置入承載盒，一方面可以對硅片起到保護作用，防止劃傷，另一方面可以在轉運過程中為硅片提供干燥的架臺。而現有的硅片承載盒普遍與硅片具有較大的接觸面積，使硅片表面的液體無法有效接觸空氣，導致干燥速度較慢，使其無法進入下一步工序，導致生產效率下降。

實用新型內容

實用新型目的：為了克服現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種雙列式硅片承載結構可以對承載的硅片進行快速干燥，提高生產效率。

技術方案：為實現上述目的，本實用新型的一種雙列式硅片承載結構，包括第一架板、第二架板、第一側桿、第二側桿、底桿和中央間隔桿；所述第一側桿和第二側桿水平對向設置于第一架板和第二架板的橫向側邊，且所述第一側桿和第二側桿的兩端連接于第一架板和第二架板；所述底桿的兩端連接于第一架板和第二架板的底部側邊；所述中央間隔桿的兩端連接于第一架板和第二架板中心位置；所述第一側桿、第二側桿和中央間隔桿對應接觸硅片的周側均設有齒形嵌片；所述底桿對應接觸硅片的一側設有左半齒形嵌片和右半齒形嵌片；若干所述左半齒形嵌片和右半齒形嵌片依次交替排設于底桿的周側。

進一步地，所述第一側桿在豎直方向設有第一副側桿，所述第二側桿在豎直方向設有第二副側桿，所述第一副側桿和第二副側桿對向側設有齒形嵌片且兩端連接于第一架板和第二架板。

進一步地，所述中央間隔桿的數量為2。

進一步地，所述底桿的數量為2；兩根所述底桿分別設于中央間隔桿豎直方向的兩側。

進一步地，還包括頂桿；所述頂桿兩端分別嵌設于第一架板和第二架板的頂部的嵌槽，所述頂桿對應接觸硅片的一側設有齒形嵌片。

進一步地，所述頂桿的數量為2。

有益效果：本實用新型的一種雙列式硅片承載結構可以對承載的硅片進行快速干燥，提高生產效率，包括但不限于以下技術效果：

1)設置左半齒形嵌片和右半齒形嵌片可以使硅片底部與嵌片的接觸面積降低，使其底部匯聚的液體可以更有效地暴露在空氣中，可以快速干燥。

附圖說明

附圖1為本實用新型的拆解結構圖；

附圖2為本實用新型的左半齒形嵌片和右半齒形嵌片的結構圖；

附圖3為本實用新型的齒形嵌片結構圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作更進一步的說明。