[實用新型]一種雙列式硅片承載結構

有效

• 申請號: 202122462764.0
• 申請日: 2021-10-13
• 公開（公告）號: CN216213306U
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 戴國焱
• 申請（專利權）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 無錫嘉馳知識產權代理事務所(普通合伙) 32388
• 代理人: 張華偉

1.一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：包括第一架板(11)、第二架板(12)、第一側桿(21)、第二側桿(22)、底桿(3)和中央間隔桿(4)；所述第一側桿(21)和第二側桿(22)水平對向設置于第一架板(11)和第二架板(12)的橫向側邊，且所述第一側桿(21)和第二側桿(22)的兩端連接于第一架板(11)和第二架板(12)；所述底桿(3)的兩端連接于第一架板(11)和第二架板(12)的底部側邊；所述中央間隔桿(4)的兩端連接于第一架板(11)和第二架板(12)中心位置；所述第一側桿(21)、第二側桿(22)和中央間隔桿(4)對應接觸硅片的周側均設有齒形嵌片(31)；所述底桿(3)對應接觸硅片的一側設有左半齒形嵌片(31)和右半齒形嵌片(32)；若干所述左半齒形嵌片(31)和右半齒形嵌片(32)依次交替排設于底桿(3)的周側。

2.根據權利要求1所述的一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：所述第一側桿(21)在豎直方向設有第一副側桿(23)，所述第二側桿(22)在豎直方向設有第二副側桿(24)，所述第一副側桿(23)和第二副側桿(24)對向側設有齒形嵌片(31)且兩端連接于第一架板(11)和第二架板(12)。

3.根據權利要求1所述的一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：所述中央間隔桿(4)的數量為2。

4.根據權利要求1所述的一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：所述底桿(3)的數量為2；兩根所述底桿(3)分別設于中央間隔桿(4)豎直方向的兩側。

5.根據權利要求1所述的一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：還包括頂桿(5)；所述頂桿(5)兩端分別嵌設于第一架板(11)和第二架板(12)的頂部的嵌槽，所述頂桿(5)對應接觸硅片的一側設有齒形嵌片(31)。

6.根據權利要求5所述的一種雙列式硅片承載結構，其特征在于：所述頂桿(5)的數量為2。