[實用新型]一種TFT基板制作用蝕刻槽結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122248474.6
• 申請日: 2021-09-16
• 公開（公告）號: CN215496649U
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發(fā)明（設計）人: 溫質康;喬小平;蘇智昱
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/77
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

本實用新型公開了一種TFT基板制作用蝕刻槽結構，包括蝕刻槽，所述蝕刻槽的頂端設置有蓋板，所述蓋板的底端固定有霧液轉換板，且霧液轉換板位于蓋板底部呈直線陣列分布，所述霧液轉換板的底端連接有導流管，所述蓋板與蝕刻槽的平行面之間夾角為30度?40度；本實用新型通過設計的蓋板和霧液轉換板，霧液轉換板的內部裝有冷卻液體，使其霧氣接觸時進行凝結形成水滴，同時蓋板呈一定斜度設置在蝕刻槽的頂端，保證其霧氣凝聚的水滴進行匯流到一定位置，避免其直接下落。

技術領域

本實用新型屬于蝕刻槽結構技術領域，具體涉及一種TFT基板制作用蝕刻槽結構。

背景技術

在有機發(fā)光二極管顯示器具備自發(fā)光特性，低功耗，寬視角，響應速度快，超輕超薄，抗震性好等特點被廣泛運用于柔性顯示領域，其中OLED顯示器采用Array TFT驅動OLED器件發(fā)光，優(yōu)良的Array TFT器件可以提高器件整體的壽命和顯示效果，在薄膜晶體管(TFT)基板制作的陣列(Array)工藝制程中，蝕刻主要有兩種方式：旋轉蝕刻方式和噴淋蝕刻方式，由于旋轉蝕刻方式需要多次顯影蝕刻，且會產生酸霧以及靜電，從而導致產能較低，因此，在液晶面板的生產過程中通常使用噴淋蝕刻方式。

現(xiàn)有的噴淋蝕刻方式將基板送入蝕刻槽蝕刻進行蝕刻工藝時，由于濕刻機臺藥液腔內部的溫度較高并且采用噴淋式蝕刻方式，噴嘴噴出的藥液量較大，藥液會形成蒸汽向上運動，并在蓋板上聚集成液滴，當液滴聚集到一定量后，由于重力影響，會滴落在正常刻蝕的基板表面，導致基板刻蝕不均，進而影響基板良率的問題，為此我們提出一種TFT基板制作用蝕刻槽結構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種TFT基板制作用蝕刻槽結構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種TFT基板制作用蝕刻槽結構，包括蝕刻槽，所述蝕刻槽的頂端設置有蓋板，所述蓋板的底端固定有霧液轉換板，且霧液轉換板位于蓋板底部呈直線陣列分布，所述霧液轉換板的底端連接有導流管，所述蓋板與蝕刻槽的平行面之間夾角為30度-40度。

優(yōu)選的，所述導流管的縱截面為C字型結構，所述霧液轉換板的縱截面為倒三角形結構。

優(yōu)選的，所述蝕刻槽的表面開設有輸送孔，且輸送孔的形狀為矩形狀結構。

優(yōu)選的，所述蝕刻槽的內壁兩側均固定有輸送管，且兩個輸送管之間連接有噴淋管。

優(yōu)選的，所述噴淋管的側壁開設有噴淋孔，所述噴淋孔上裝設有噴頭。

優(yōu)選的，所述蝕刻槽的縱截面為直角梯形結構，所述蝕刻槽的橫截面為矩形結構。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是：

（1）通過設計的蓋板和霧液轉換板，霧液轉換板的內部裝有冷卻液體，使其霧氣接觸時進行凝結形成水滴，同時蓋板呈一定斜度設置在蝕刻槽的頂端，保證其霧氣凝聚的水滴進行匯流到一定位置，避免其直接下落，通過設計的導流管，導流管安裝在霧液轉換板的底部，對轉換后的液體下滴時進行集中接收處理，有利于避免液滴滴落在正常蝕刻的基板表面，避免由于藥液濃度不均導致蝕刻速率不均的問題，提高了Array TFT基板制備的良率，導流管將收集的液滴導入到槽中，并與槽中反應的藥液以及新補充的藥液混合，形成的混合液將被重新利用。

（2）通過設計的輸送孔，便于將基板輸送到蝕刻槽內部進行蝕刻制作，通過設計的噴頭，實現(xiàn)將噴淋孔噴出的液體進行霧化，使其噴淋更加均勻。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的正面剖視結構示意圖；

圖3為本實用新型圖2中的A處放大圖；

圖中：1、蝕刻槽；2、輸送孔；3、蓋板；4、輸送管；5、噴淋管；6、噴頭；7、導流管；8、霧液轉換板。