[實(shí)用新型]一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122248474.6
• 申請日: 2021-09-16
• 公開（公告）號: CN215496649U
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫質(zhì)康;喬小平;蘇智昱
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/77
• 代理公司: 福州君誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

1.一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，包括蝕刻槽（1），其特征在于：所述蝕刻槽（1）的頂端設(shè)置有蓋板（3），所述蓋板（3）的底端固定有霧液轉(zhuǎn)換板（8），且霧液轉(zhuǎn)換板（8）位于蓋板（3）底部呈直線陣列分布，所述霧液轉(zhuǎn)換板（8）的底端連接有導(dǎo)流管（7），所述蓋板（3）與蝕刻槽（1）的平行面之間夾角為30度-40度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述導(dǎo)流管（7）的縱截面為C字型結(jié)構(gòu)，所述霧液轉(zhuǎn)換板（8）的縱截面為倒三角形結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述蝕刻槽（1）的表面開設(shè)有輸送孔（2），且輸送孔（2）的形狀為矩形狀結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述蝕刻槽（1）的內(nèi)壁兩側(cè)均固定有輸送管（4），且兩個(gè)輸送管（4）之間連接有噴淋管（5）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述噴淋管（5）的側(cè)壁開設(shè)有噴淋孔，所述噴淋孔上裝設(shè)有噴頭（6）。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種TFT基板制作用蝕刻槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述蝕刻槽（1）的縱截面為直角梯形結(jié)構(gòu)，所述蝕刻槽（1）的橫截面為矩形結(jié)構(gòu)。