[實用新型]一種晶圓移動機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122245894.9
• 申請日: 2021-09-16
• 公開（公告）號: CN216084827U
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發(fā)明（設計）人: 陳有亮;彭博
• 申請（專利權）人: 長園半導體設備（珠海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 王賢義

本實用新型旨在提供一種結(jié)構緊湊、快速移動且定位精確的晶圓移動機構。本實用新型包括兩軸移動模塊和旋轉(zhuǎn)模塊，旋轉(zhuǎn)模塊設置在兩軸移動模塊的活動端，旋轉(zhuǎn)模塊包括固定板，固定板上依次設置有旋轉(zhuǎn)塊、吸盤以及承接板，固定板上設置有第一驅(qū)動電機且第一驅(qū)動電機與旋轉(zhuǎn)塊傳動連接，吸盤上設置有若干個與外部真空源導通的吸嘴，吸盤的底部設置有第二驅(qū)動電機和傳動塊，傳動塊與第二驅(qū)動電機配合實現(xiàn)升降動作，傳動塊的兩端均設置有與吸盤配合的擋塊，吸盤上設置有若干個氣缸，氣缸傳動連接有導柱，導柱穿過吸盤與晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品以及晶圓固定治具產(chǎn)品的缺口適配。本實用新型應用于移動機構的技術領域。

技術領域

本實用新型應用于移動機構的技術領域,特別涉及一種晶圓移動機構。

背景技術

半導體芯片分選中常常需要將芯片在晶圓鐵環(huán)或者晶圓固定治具上進行取放，在取放過程中晶圓鐵環(huán)或者晶圓固定治具需要進行X軸、Y軸以及角度旋轉(zhuǎn)的調(diào)整，所以需要機構承接晶圓鐵環(huán)或者晶圓固定治具并使其可以在X軸、Y軸移動并能夠?qū)崿F(xiàn)角度旋轉(zhuǎn)，然而晶圓鐵環(huán)或者晶圓固定治具不能共用晶圓移動平臺，X軸與Y軸通過絲桿帶動晶圓鐵環(huán)或者晶圓固定治具，導致移動速度緩慢、定位精度不高、占用空間大等，因此有必要提供一種結(jié)構緊湊、快速移動且定位精確的晶圓移動機構。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術的不足，提供了一種結(jié)構緊湊、快速移動且定位精確的晶圓移動機構。

本實用新型所采用的技術方案是：本實用新型包括兩軸移動模塊和旋轉(zhuǎn)模塊，所述旋轉(zhuǎn)模塊設置在所述兩軸移動模塊的活動端，所述旋轉(zhuǎn)模塊包括固定板，所述固定板上依次設置有旋轉(zhuǎn)塊、吸盤以及承接板，所述固定板上設置有第一驅(qū)動電機且所述第一驅(qū)動電機與所述旋轉(zhuǎn)塊傳動連接，所述吸盤上設置有若干個與外部真空源導通的吸嘴，所述吸盤的底部設置有第二驅(qū)動電機和傳動塊，所述傳動塊與所述第二驅(qū)動電機配合實現(xiàn)升降動作，所述傳動塊的兩端均設置有與所述吸盤配合的擋塊。

由上述方案可見，所述兩軸移動模塊驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)模塊進行X軸和Y軸的移動，所述吸盤上設有與所述承接板相適配的凹槽，所述承接板設置在所述凹槽上，所述吸盤上設置有若干個與外部真空源導通的所述吸嘴，所述第二驅(qū)動電機通過絲桿的傳動配合使得所述傳動塊實現(xiàn)上下滑動，所述第二驅(qū)動電機帶動兩塊所述擋塊向上運動，將晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品放置所述承接板上，所述第二驅(qū)動電機帶動兩塊所述擋塊向下運動，實現(xiàn)晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品橫向的限位固定，所述吸嘴抽吸真空使得晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品牢牢吸附在所述承接板上，實現(xiàn)晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品縱向的限位固定，從而實現(xiàn)晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品立體方向的限位固定，所述第一驅(qū)動電機通過皮帶與所述旋轉(zhuǎn)塊傳動配合，根據(jù)取放的角度進行轉(zhuǎn)動調(diào)整，若對晶圓固定治具產(chǎn)品進行取放，直接去除所述承接板進行同樣的動作即可。

一個優(yōu)選方案是，所述吸盤上設置有若干個氣缸，所述氣缸傳動連接有導柱，所述導柱穿過所述吸盤與晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品以及晶圓固定治具產(chǎn)品的缺口適配。

由上述方案可見，所述氣缸的輸出端傳動連接有所述導柱，所述導柱用于晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品以及晶圓固定治具產(chǎn)品的定位，所述氣缸驅(qū)動所述導柱向上移動，將晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品或晶圓固定治具產(chǎn)品上的所述缺口對準卡入所述導柱，所述吸嘴抽吸真空使得晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品或晶圓固定治具產(chǎn)品牢牢吸附住，所述氣缸驅(qū)動所述導柱向下移動，下降后所述導柱依然卡住晶圓鐵環(huán)產(chǎn)品或晶圓固定治具產(chǎn)品，同時能避讓外部取料機構的活動。

一個優(yōu)選方案是，所述兩軸移動模塊包括底板和安裝板，所述底板上設置有Y軸直線模組以及兩組與所述Y軸直線模組平行的Y軸導軌，所述安裝板的一端設置在所述Y軸直線模組的活動端，所述安裝板的另一端與兩組所述Y軸導軌滑動配合，所述安裝板上設置有X軸直線模組以及兩組與所述X軸直線模組平行的X軸導軌，所述固定板的一端設置在所述X軸直線模組的活動端，所述固定板的另一端與兩組所述X軸導軌滑動配合。