[實用新型]一種晶圓移動機構

有效

• 申請號: 202122245894.9
• 申請日: 2021-09-16
• 公開（公告）號: CN216084827U
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: 陳有亮;彭博
• 申請（專利權）人: 長園半導體設備（珠海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 王賢義

1.一種晶圓移動機構，其特征在于：它包括兩軸移動模塊（1）和旋轉模塊（2），所述旋轉模塊（2）設置在所述兩軸移動模塊（1）的活動端，所述旋轉模塊（2）包括固定板（3），所述固定板（3）上依次設置有旋轉塊（4）、吸盤（5）以及承接板（6），所述固定板（3）上設置有第一驅動電機（7）且所述第一驅動電機（7）與所述旋轉塊（4）傳動連接，所述吸盤（5）上設置有若干個與外部真空源導通的吸嘴（8），所述吸盤（5）的底部設置有第二驅動電機（9）和傳動塊（10），所述傳動塊（10）與所述第二驅動電機（9）配合實現升降動作，所述傳動塊（10）的兩端均設置有與所述吸盤（5）配合的擋塊（11）。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述吸盤（5）上設置有若干個氣缸（12），所述氣缸（12）傳動連接有導柱（13），所述導柱（13）穿過所述吸盤（5）與晶圓鐵環產品以及晶圓固定治具產品的缺口（14）適配。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述兩軸移動模塊（1）包括底板（15）和安裝板（16），所述底板（15）上設置有Y軸直線模組（17）以及兩組與所述Y軸直線模組（17）平行的Y軸導軌（18），所述安裝板（16）的一端設置在所述Y軸直線模組（17）的活動端，所述安裝板（16）的另一端與兩組所述Y軸導軌（18）滑動配合，所述安裝板（16）上設置有X軸直線模組（19）以及兩組與所述X軸直線模組（19）平行的X軸導軌（20），所述固定板（3）的一端設置在所述X軸直線模組（19）的活動端，所述固定板（3）的另一端與兩組所述X軸導軌（20）滑動配合。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述安裝板（16）靠近所述X軸導軌（20）的一端設置有第一安裝塊（22），所述第一安裝塊（22）上設置有與所述固定板（3）配合的X軸光柵尺（21）。

5.根據權利要求3所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述底板（15）靠近所述Y軸導軌（18）的一端設置有第二安裝塊（24），所述第二安裝塊（24）上設置有與所述安裝板（16）配合的Y軸光柵尺（23）。

6.根據權利要求3所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述安裝板（16）的兩端對稱設置有第一緩沖器（25），所述第一緩沖器（25）與所述X軸導軌（20）上的滑塊配合。

7.根據權利要求3所述的一種晶圓移動機構，其特征在于：所述底板（15）的兩端對稱設置有第二緩沖器（26），所述安裝板（16）的底部設置有凸塊（27），所述第二緩沖器（26）與所述凸塊（27）配合。