[實用新型]一種大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機

有效

• 申請號: 202122153149.1
• 申請日: 2021-09-07
• 公開（公告）號: CN215599504U
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發明（設計）人: 李由根;李娜;蕭訓山;劉丹;吳婷
• 申請（專利權）人: 東莞市宏誠光學制品有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F1/68;G02F1/13
• 代理公司: 東莞卓為知識產權代理事務所(普通合伙) 44429
• 代理人: 齊海迪

1.一種大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：包括機架、頂針組件、緊固圈、壓塊以及電磁力控制裝置，所述頂針組件呈可活動地安裝于所述機架上，所述電磁力控制裝置安裝于所述頂針組件的下方以用于將所述頂針組件朝所述機架的下方進行吸拉，所述壓塊位于所述電磁力控制裝置的上方并開設有供所述頂針組件的頂針穿過用的安裝孔，所述緊固圈安裝于所述安裝孔內以對位于該緊固圈上方的區域進行密封。

2.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：還包括用于將所述壓塊固定于所述機架上的緊固螺絲，所述壓塊開設有與所述緊固螺絲呈螺紋配合的緊固孔。

3.根據權利要求2所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述緊固孔有兩個，兩個所述緊固孔以所述安裝孔為中心呈中心對稱地布置，所述緊固螺絲與所述緊固孔呈一一對應地布置。

4.根據權利要求2所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：還包括用于將所述壓塊相對所述機架進行一定角度調節的調節螺絲，所述壓塊開設有與所述調節螺絲呈螺紋配合的調節孔。

5.根據權利要求4所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述調節孔有四個，四個所述調節孔以兩個所述緊固孔間的連線為軸心呈左右對稱地布置，所述調節螺絲與所述調節孔呈一一對應地布置。

6.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述安裝孔的孔徑、所述緊固圈的內徑以及所述頂針的直徑呈由大至小地布置。

7.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述緊固圈是O型氟橡膠圈。

8.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述電磁力控制裝置包括兩個于水平方向上呈平行布置的24V通電磁鐵。

9.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述壓塊為一體式的航空鋁合金塊。

10.根據權利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂機，其特征在于：所述壓塊上還設置有供所述緊固圈卡合固定的環形凹槽，所述環形凹槽與所述安裝孔相連通。