[實用新型]一種濺射靶材的清洗裝夾裝置有效
| 申請號： | 202122146015.7 | 申請日： | 2021-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN215466536U | 公開（公告）日： | 2022-01-11 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;方友華 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/04 | 分類號： | B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濺射 清洗 裝置 | ||
1.一種濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述清洗裝夾裝置包括設置于清洗容器上部的至少一個中間裝夾件和兩個端裝夾件；所述端裝夾件設置在所述清洗容器的兩端，所述中間裝夾件設置在兩個端裝夾件之間；
所述端裝夾件包括形成L型裝夾口的第一齒部和第一主體部，所述第一齒部與第一主體部之間L型裝夾口呈80～100°夾角；
所述中間裝夾件包括形成兩個L型裝夾口的第二齒部和第二主體部，所述第二主體部設置在所述第二齒部的正中間，所述第二齒部和第二主體部之間兩個L型裝夾口均呈80～100°夾角；
所述第一齒部的齒尖與所述第二齒部的齒尖相對設置。
2.根據權利要求1所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一主體部在遠離第一齒部一側設置有兩個貫通螺孔。
3.根據權利要求2所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一主體部的貫通螺孔的周邊離所述第一主體部遠離第一齒部一側邊的距離為2～5mm。
4.根據權利要求2所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第二主體部正中間設置有兩個貫通螺孔。
5.根據權利要求1所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一齒部和第二齒部的齒尖尖角相同。
6.根據權利要求5所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一齒部和第二齒部的齒尖尖角為5～30°。
7.根據權利要求1所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一主體部呈直角梯形，所述直角梯形遠離所述第一齒部的非直角內角的角度為60～85°。
8.根據權利要求1～7任一項所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第二主體部呈等腰梯形，所述等腰梯形遠離所述第二齒部端的內角的角度為60～85°。
9.根據權利要求1～7任一項所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述第一主體部和第二主體部的長度與所述清洗容器的寬度相適配。
10.根據權利要求1～7任一項所述的濺射靶材的清洗裝夾裝置，其特征在于，所述清洗容器的上部中間設置有滑動槽以及設置在滑動槽內與貫通螺孔相固定的固定件。
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