[實(shí)用新型]一種用于碳化硅晶片的檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202122102247.2
• 申請日: 2021-09-01
• 公開（公告）號: CN215599041U
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申雪珍;鄒宇;張平
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司;北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958;G01N21/01
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱英靜

本實(shí)用新型公開了一種用于碳化硅晶片的檢測裝置。該用于碳化硅晶片的檢測裝置包括支撐架；設(shè)置于支撐架上的晶片支撐組件，晶片支撐組件包括托板和支撐臺，托板上設(shè)有第一透光孔、晶片支撐臺階和避讓槽，晶片支撐臺階沿第一透光孔的圓周開設(shè)，并且晶片支撐臺階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合；以及用于檢測碳化硅晶片的目鏡。由于晶片支撐臺階沿第一透光孔的圓周開設(shè)，晶片支撐臺階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合，因此，晶片支撐臺階能對碳化硅晶片進(jìn)行定位，限制碳化硅晶片的移動，減少碳化硅晶片的污染和損傷，同時，第一透光孔的設(shè)計(jì)減少了碳化硅晶片與托板的接觸面積，使得碳化硅晶片與托板之間的摩擦減小，進(jìn)一步減少了污染和損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及碳化硅晶片檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于碳化硅晶片的檢測裝置。

背景技術(shù)

目前，碳化硅晶片通常在顯微鏡上進(jìn)行檢測。檢測時，將碳化硅晶片放置于顯微鏡的樣品支撐臺上，通過顯微鏡的目鏡檢測碳化硅晶片的內(nèi)部缺陷。

當(dāng)前，一方面由于碳化硅晶片是在顯微鏡的透射模式下進(jìn)行的，光源從顯微鏡的下部向上照射，穿透玻璃板和晶片進(jìn)入上部目鏡中，并且顯微鏡的樣品支撐臺為實(shí)心玻璃平板，碳化硅晶片容易在實(shí)心玻璃平板上滑移，使玻璃板上的臟污、劃痕或者其他缺陷也會進(jìn)入顯微鏡的視野，造成缺陷混淆，干擾碳化硅晶片本身的缺陷判斷；另一方面，光源先經(jīng)過玻璃板會損失一部分亮度，透過碳化硅晶片的光變?nèi)?，?dǎo)致碳化硅晶片上的一部分微觀缺陷在顯微鏡的視野里不清晰，造成微觀缺陷的漏檢，這兩方面原因降低了碳化硅晶片檢測的可靠性。

因此，如何提高碳化硅晶片檢測的可靠性，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于碳化硅晶片的檢測裝置，以減少對碳化硅晶片的污染和損傷。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：

一種用于碳化硅晶片的檢測裝置，包括：

支撐架；

設(shè)置于所述支撐架上的晶片支撐組件，所述晶片支撐組件包括托板和用于支撐所述托板的支撐臺，所述托板上設(shè)有能夠使光源通過的第一透光孔、用于對碳化硅晶片進(jìn)行支撐的晶片支撐臺階和能夠使真空吸筆通過的避讓槽，所述晶片支撐臺階沿所述第一透光孔的圓周開設(shè)，并且所述晶片支撐臺階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合；

用于檢測所述碳化硅晶片的目鏡。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述托板包括防靜電板和硬度加強(qiáng)板，所述硬度加強(qiáng)板與所述防靜電板粘合在一起，所述第一透光孔貫穿所述防靜電板和所述硬度加強(qiáng)板。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述硬度加強(qiáng)板設(shè)有限位凸臺和限位凹槽中二者中的一個，所述支撐臺上設(shè)有所述限位凸臺和所述限位凹槽中二者中的另一個，并且所述限位凸臺與所述限位凹槽能夠互相配合。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述限位凸臺和所述限位凹槽均為方形。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述防靜電板的材質(zhì)為改性合成樹脂。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述支撐臺設(shè)有能夠使光源通過的第二透光孔，所述第二透光孔的孔壁上涂抹有反光涂層。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述第二透光孔的孔壁為弧線形，并且所述弧線形的圓心位于所述支撐臺靠近所述托板的一側(cè)。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，還包括轉(zhuǎn)動連接于所述支撐架的物鏡轉(zhuǎn)盤和安裝于所述物鏡轉(zhuǎn)盤上的物鏡。

優(yōu)選地，在上述用于碳化硅晶片的檢測裝置中，所述晶片支撐組件還包括用于支撐所述支撐臺的載物臺。