[實(shí)用新型]一種用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202122102247.2
• 申請(qǐng)日: 2021-09-01
• 公開（公告）號(hào): CN215599041U
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申雪珍;鄒宇;張平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司;北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/958
• 分類號(hào): G01N21/958;G01N21/01
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱英靜

1.一種用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：

支撐架；

設(shè)置于所述支撐架上的晶片支撐組件，所述晶片支撐組件包括托板和用于支撐所述托板的支撐臺(tái)，所述托板上設(shè)有能夠使光源通過(guò)的第一透光孔、用于對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行支撐的晶片支撐臺(tái)階和能夠使真空吸筆通過(guò)的避讓槽，所述晶片支撐臺(tái)階沿所述第一透光孔的圓周開設(shè)，并且所述晶片支撐臺(tái)階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合；以及

用于檢測(cè)所述碳化硅晶片的目鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述托板包括防靜電板和硬度加強(qiáng)板，所述硬度加強(qiáng)板與所述防靜電板粘合在一起，所述第一透光孔貫穿所述防靜電板和所述硬度加強(qiáng)板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述硬度加強(qiáng)板設(shè)有限位凸臺(tái)和限位凹槽中二者中的一個(gè)，所述支撐臺(tái)上設(shè)有所述限位凸臺(tái)和所述限位凹槽中二者中的另一個(gè)，并且所述限位凸臺(tái)與所述限位凹槽能夠互相配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述限位凸臺(tái)和所述限位凹槽均為方形。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述防靜電板的材質(zhì)為改性合成樹脂。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述支撐臺(tái)設(shè)有能夠使光源通過(guò)的第二透光孔，所述第二透光孔的孔壁上涂抹有反光涂層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第二透光孔的孔壁為弧線形，并且所述弧線形的圓心位于所述支撐臺(tái)靠近所述托板的一側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述支撐架的物鏡轉(zhuǎn)盤和安裝于所述物鏡轉(zhuǎn)盤上的物鏡。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述晶片支撐組件還包括用于支撐所述支撐臺(tái)的載物臺(tái)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述避讓槽為方形槽。