[實用新型]單晶爐前端裝置

有效

• 申請號: 202121828411.1
• 申請日: 2021-08-06
• 公開（公告）號: CN215373582U
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 孫寧;周發州;周俊義
• 申請（專利權）人: 蘇州市興魯空分設備科技發展有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛

1.一種單晶爐前端裝置，設置于單晶爐系統與氬氣凈化系統之間，其特征在于：所述單晶爐前端裝置包括多個用于回收所述單晶爐系統排放的部分氬尾氣的分區域獨立回收單元、多個用于對所述分區域獨立回收單元輸出的氬尾氣進行增壓的獨立增壓單元、多個用于對所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的氧含量進行檢測的氧含量檢測單元、多個用于放空所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的獨立放空單元；

各個所述分區域獨立回收單元的輸入側分別與所述單晶爐系統的輸出側相連接且各個所述分區域獨立回收單元并行設置，所述獨立增壓單元的輸入側與所述分區域獨立回收單元的輸出側一一對應串聯，每個所述獨立增壓單元的輸出側均分支為第一支路和第二支路，所述第一支路與所述各個所述獨立放空單元的輸入側一一對應連接，所述第二支路均與所述氬氣凈化系統的輸入側相連接，所述氧含量檢測單元與所述獨立增壓單元的輸出側一一對應連接。

2.根據權利要求1所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：每個所述獨立增壓單元包括兩臺并行設置且一備一用的增壓風機。

3.根據權利要求1所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述單晶爐前端裝置還包括多個用于對所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的壓力進行檢測的壓力檢測單元，所述壓力檢測單元與所述獨立增壓單元的輸入側、輸出側一一對應連接。

4.根據權利要求1所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述單晶爐前端裝置還包括多個鉑熱電阻，所述鉑熱電阻與所述獨立增壓單元的輸入側、輸出側一一對應連接。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述單晶爐前端裝置還包括冷卻單元，各個所述第二支路匯總后經所述冷卻單元與所述氬氣凈化系統的輸入側相連接。

6.根據權利要求5所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述冷卻單元包括兩臺并行設置且一備一用的冷卻器。

7.根據權利要求1所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述單晶爐前端裝置還包括根據各個所述氧含量檢測單元輸出的檢測結果控制對應所述獨立放空單元是否工作的控制單元，所述控制單元分別與各個所述氧含量檢測單元、各個所述獨立放空單元相連接。

8.根據權利要求7所述的單晶爐前端裝置，其特征在于：所述單晶爐前端裝置還包括與所述控制單元相連接并能夠向工作人員發送告警信息的通信單元。